掃描電鏡為什么要控制加速電壓

加速電壓是掃描電鏡（SEM）里非常關(guān)鍵的參數(shù)，控制它主要有以下幾個(gè)原因：

掃描電鏡操作時(shí)需要真空嗎

掃描電鏡（SEM）幾乎所有成像模式都必須在真空環(huán)境下進(jìn)行，只是真空度要求的高低會根據(jù)樣品和成像模式而不同。

掃描電鏡（SEM）中電子充電噪聲的產(chǎn)生，主要源于電子束與樣品之間的電荷相互作用，其原因可以分為以下幾類：

在掃描電鏡（SEM）中，如果樣品是非導(dǎo)電材料或者導(dǎo)電處理不充分，電子束照射會在表面積累電荷，從而產(chǎn)生電子充電噪聲，其表現(xiàn)主要有以下幾類：

掃描電鏡（SEM）在成像時(shí)，如果樣品、儀器或操作條件不合適，就容易產(chǎn)生偽影。

提高掃描電鏡（SEM）圖像對比度，可以從電子束條件、樣品處理、探測方式和成像參數(shù) 四個(gè)方向入手：

掃描電鏡（SEM）的分辨率指的是能夠分辨樣品表面上兩個(gè)最小可分開的特征點(diǎn)的能力，它不是單一因素決定的，而是由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號特性和樣品條件綜合影響的。

在掃描電鏡（SEM）成像中，電荷效應(yīng)主要出現(xiàn)在非導(dǎo)電樣品或絕緣材料上，當(dāng)電子束照射時(shí)，入射電子不能及時(shí)泄放，就會在樣品表面積累電荷，導(dǎo)致圖像發(fā)白、漂移甚至局部失真。