掃描電鏡樣品制備不當(dāng)對(duì)能譜有何影響？

掃描電鏡（SEM）能譜分析（EDS 或 EDX）對(duì)樣品制備有較高要求，制備不當(dāng)會(huì)直接影響元素分析的準(zhǔn)確性、峰位識(shí)別、含量判斷甚至導(dǎo)致誤判。

掃描電鏡能譜圖怎么看出元素種類？

在掃描電鏡（SEM）中，能譜圖（EDS 或 EDX 圖）顯示的是樣品中不同元素對(duì)入射電子束響應(yīng)所產(chǎn)生的特征 X 射線的強(qiáng)度與能量的關(guān)系。

在掃描電鏡（SEM）成像過(guò)程中，圖像邊緣出現(xiàn)像差，常見(jiàn)表現(xiàn)包括模糊、拉伸、畸變或亮度不均，主要是由于電子束聚焦性能在邊緣區(qū)域變差導(dǎo)致的。

在掃描電鏡（SEM）觀察過(guò)程中，非導(dǎo)體樣品或?qū)щ娦圆畹臉悠繁砻嫒菀追e累電荷，這會(huì)導(dǎo)致圖像發(fā)白、模糊、漂移甚至“閃爍”，嚴(yán)重影響成像質(zhì)量。

如果掃描電鏡（SEM）圖像對(duì)比度太低，圖像會(huì)顯得灰蒙蒙、細(xì)節(jié)不清，無(wú)法分辨結(jié)構(gòu)差異。

在掃描電鏡（SEM）中，放大倍數(shù)是通過(guò)調(diào)節(jié)電子束掃描范圍來(lái)實(shí)現(xiàn)的，而不是像光學(xué)顯微鏡那樣靠更換鏡頭。

掃描電鏡（SEM）的掃描范圍是可以放大或縮小的，而且這正是實(shí)現(xiàn)“放大倍數(shù)”變化的核心原理。

掃描電鏡（SEM）成像模糊很大可能是焦距沒(méi)有調(diào)好。成像模糊的成因通常可以分為對(duì)焦問(wèn)題、樣品問(wèn)題、參數(shù)設(shè)置問(wèn)題和機(jī)械或電子系統(tǒng)問(wèn)題。