掃描電鏡中的束斑大小指的是電子束在樣品表面形成的實(shí)際“光斑”直徑，也就是電子束聚焦后的尺寸。它直接決定圖像的分辨率和信號(hào)采集特性。

以下是束斑大小的核心要點(diǎn)：

束斑大小是什么

它是電子束在樣品表面上的有效直徑。數(shù)值越小，電子束越“尖”，可以分辨更細(xì)的結(jié)構(gòu)；數(shù)值越大，信號(hào)更強(qiáng)但分辨率會(huì)下降。

影響束斑大小的主要因素

1 電子光學(xué)系統(tǒng)

包括電子槍類型，物鏡孔徑，透鏡的放大倍率等。

2 加速電壓

高電壓更容易獲得小束斑，但也會(huì)增加樣品穿透，降低表面信息比重。

3 孔徑大小

孔徑大，束流大，信號(hào)強(qiáng)，但束斑變大；孔徑小，束流小但束斑更細(xì)。

4 工作距離

工作距離越短，通常越容易獲得小束斑。

束斑大小與成像的關(guān)系

分辨率

束斑越小，分辨率越高。

信噪比

束斑越大，束流越大，信號(hào)更強(qiáng)，成像更亮，但分辨率下降。

適用場(chǎng)景

小束斑適合高分辨觀測(cè)

大束斑適合弱信號(hào)樣品、能譜分析、粗表面等。