掃描電鏡信號噪聲來源與抑制方法

在掃描電鏡（SEM）成像中，信號噪聲是導(dǎo)致圖像模糊、對比度下降甚至細節(jié)丟失的重要原因。

什么是掃描電鏡偽影

在掃描電子顯微鏡（SEM）中，偽影是指圖像中出現(xiàn)的非樣品真實結(jié)構(gòu)的信號或形態(tài)，它們會誤導(dǎo)觀察者，通常來源于樣品制備、設(shè)備本身或成像條件。

掃描電鏡（SEM）的放大倍數(shù)對圖像質(zhì)量有直接而明顯的影響，它不僅決定了圖像呈現(xiàn)的細節(jié)程度，也會影響亮度、清晰度、景深等成像質(zhì)量指標。

在掃描電鏡（SEM）觀察中，如果樣品導(dǎo)電性不足，會造成電荷積累（charging effect），從而導(dǎo)致圖像模糊、漂移或亮度不均。

樣品表面不平整是導(dǎo)致掃描電鏡（SEM）圖像模糊、局部失焦、對比度不均的重要原因之一。

表面粗糙度對掃描電鏡（SEM）分辨率的影響主要體現(xiàn)在電子信號的產(chǎn)生、收集以及束斑聚焦等方面。

在掃描電鏡（SEM）觀察中，樣品表面的導(dǎo)電性對圖像分辨率和成像質(zhì)量有很大影響，主要體現(xiàn)在以下幾個方面。

在掃描電子顯微鏡（SEM）中，圖像的清晰度和可分析性很大程度上取決于噪聲控制和對比度調(diào)整。