掃描電鏡圖像模糊是一個常見問題，通?？梢酝ㄟ^一系列系統(tǒng)性的調(diào)整來解決。圖像模糊的核心原因主要圍繞對焦、像散、電子束狀態(tài)和樣品制備這幾個方面。

請您按照以下從簡到繁的順序進(jìn)行排查和調(diào)整：

一、 基礎(chǔ)操作：對焦與像散校正

這是最首要且常用的調(diào)整步驟。

重新對焦

操作：在中等倍數(shù)下，交替使用“粗調(diào)”和“細(xì)調(diào)”聚焦旋鈕。

技巧：不要只朝一個方向調(diào)。要有意地反復(fù)掃過焦點——即先調(diào)到圖像最模糊，然后向反方向調(diào)節(jié)，找到圖像從模糊變清晰再變模糊的那個“頂點”。這個頂點就是最佳焦點。使用“快速掃描”模式可以幫助您更實時地看到圖像變化。

校正像散

何時需要：當(dāng)您發(fā)現(xiàn)無論如何調(diào)焦，圖像總在某個方向上模糊或有拖尾感，無法在各個方向同時清晰時，極有可能是存在像散。

操作：找到像散校正器。在高倍數(shù)下，選擇一個特征明顯的細(xì)節(jié)，一邊觀察圖像，一邊微調(diào)像散校正旋鈕。需要耐心地交替調(diào)節(jié)，直到該細(xì)節(jié)達(dá)到銳利、對稱的狀態(tài)。

二、 檢查電子束與儀器條件

如果對焦和像散校正后效果不佳，需檢查以下設(shè)置。

優(yōu)化電鏡參數(shù)

束斑尺寸/探針電流：增大束斑尺寸可以提高束流，讓圖像信噪比更好，但會降低分辨率。反之，減小束斑尺寸能提高理論分辨率，但信噪比會變差。根據(jù)您的樣品和觀察需求找到一個平衡點。

加速電壓：提高加速電壓可以使電子束穿透力更強，減少某些樣品的充電效應(yīng)，但可能對敏感樣品造成損傷。降低加速電壓可以增加表面細(xì)節(jié)的對比度，但可能導(dǎo)致電子束能量不足，圖像模糊。

工作距離：指物鏡與樣品表面的距離。請參照儀器的推薦值進(jìn)行設(shè)置，工作距離過短或過長都會影響圖像的分辨率和景深。

三、 排查樣品相關(guān)問題

儀器狀態(tài)良好但圖像仍模糊，問題可能出在樣品本身。

樣品充電效應(yīng)

現(xiàn)象：圖像漂移、出現(xiàn)異常亮線、局部過亮、或者像有“風(fēng)吹過”一樣變形。

解決方案：

對于不導(dǎo)電樣品，須進(jìn)行噴金等導(dǎo)電處理。

降低加速電壓或減小束流。

使用電鏡的“低真空”模式。

樣品污染或制備不良

現(xiàn)象：圖像整體有“霧感”，細(xì)節(jié)不清，或者表面看起來“臟”。

解決方案：確保樣品表面清潔、干燥、制備良好。樣品表面的油污、粉塵或制備過程中引入的污染物都會嚴(yán)重影響成像質(zhì)量。