掃描電鏡的像差主要有哪些類型？

掃描電鏡（SEM）的像差主要來(lái)自電子光學(xué)系統(tǒng)中電子束的聚焦與成像缺陷，常見的類型主要有以下幾類：

掃描電鏡可以做三維重構(gòu)嗎？

掃描電鏡（SEM）是能實(shí)現(xiàn)三維重構(gòu)的，但它本身并不是直接拍 3D 圖像的，而是通過(guò)一系列手段間接獲得三維表面信息。

在掃描電鏡（SEM）中，樣品充電主要發(fā)生在非導(dǎo)電或低導(dǎo)電材料表面，因?yàn)槿肷潆娮訜o(wú)法及時(shí)導(dǎo)走，逐漸積累形成靜電電荷，導(dǎo)致圖像亮度變化、漂移甚至失真。

掃描電鏡（SEM）的樣品臺(tái)常見的運(yùn)動(dòng)方式主要包括以下幾類，每種運(yùn)動(dòng)方式都對(duì)應(yīng)不同的調(diào)節(jié)需求：

掃描電鏡（SEM）能看到的最小結(jié)構(gòu)，取決于顯微鏡的類型、電子槍性能、探測(cè)器類型以及樣品制備情況。

有區(qū)別，而且在操作方法、樣品制備、成像效果等方面差別不小。

非導(dǎo)電樣品在掃描電鏡（SEM）中直接成像時(shí)容易出現(xiàn)電荷積累（charging）問(wèn)題，導(dǎo)致圖像漂移、發(fā)亮斑點(diǎn)或模糊。

在掃描電鏡（SEM）下，樣品充電（charging）主要發(fā)生在非導(dǎo)電或低導(dǎo)電材料表面，因?yàn)殡娮邮Z擊后產(chǎn)生的多余電荷無(wú)法及時(shí)泄放。