樣品傾角對掃描電鏡圖像的影響
日期:2025-10-10
樣品傾角對掃描電鏡(SEM)圖像的成像質量、對比度和分辨率都有顯著影響,主要體現在以下幾個方面:
影響信號收集效率
當樣品傾斜時,入射電子束與樣品表面的相互作用體積形狀發生變化,背散射電子(BSE)和二次電子(SE)的發射方向也隨之改變。
傾角增大時,二次電子發射增強,圖像表面細節更明顯;
但若傾角過大,會導致信號不均或陰影效應。
增強表面形貌對比
適當的傾斜角能增加表面凹凸處的明暗差異,使圖像具有更強的立體感,有助于觀察微結構的形貌特征。
影響分辨率
傾角增大會導致電子束在樣品上的投影面積增大,從而降低有效分辨率,特別是在高放大倍率下表現明顯。
導致幾何畸變
傾斜后的樣品圖像會產生比例失真,例如一側被拉伸或壓縮,測量時須進行幾何校正。
影響能譜分析結果(EDS)
在能譜分析時,樣品傾斜角度會改變探測器的接收角度,影響X射線收集效率和元素定量準確性。
增加充電效應風險(非導電樣品)
傾角過大時,電子可能在樣品表面堆積不均,從而加劇電荷積聚現象。
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作者:澤攸科技
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