背散射電子信號是掃描電鏡的重要成像信號之一，它主要有以下幾個用途：

1. 元素對比（原子序數(shù)對比）

背散射電子的產(chǎn)生概率隨原子序數(shù)（Z）增大而增加。

高原子序數(shù)的區(qū)域會發(fā)出更多 BSE，顯示為圖像中亮區(qū)，低原子序數(shù)的區(qū)域顯示為暗區(qū)。

因此，BSE 圖像可以用來區(qū)分不同元素或不同材料組成。

2. 相位分析與材料分布

BSE 可以反映樣品中不同晶相或成分的分布。

在金屬合金、礦物和復(fù)合材料中，BSE 圖像常用于識別不同相或析出物的位置。

3. 粗略形貌觀察

雖然 BSE 分辨率通常略低于二次電子（SE）圖像，但它仍然可以顯示樣品宏觀形貌，尤其是厚樣品或不規(guī)則樣品。

4. 結(jié)合能譜分析（EDS/EDX）

BSE 圖像可以幫助定位目標(biāo)區(qū)域，選擇適合做能譜分析的位置。

高原子序數(shù)區(qū)域通常能量峰更明顯，更適合定量分析。

5. 樣品傾斜或厚度變化的提示

BSE 強(qiáng)度會隨樣品傾斜角和厚度變化略有改變，可用來輔助判斷樣品的三維形態(tài)。