掃描電鏡（SEM）的掃描范圍是可以放大或縮小的，而且這正是實(shí)現(xiàn)“放大倍數(shù)”變化的核心原理。

一、什么是掃描范圍？

在 SEM 中，掃描范圍指的是電子束在樣品表面“掃描”的物理面積。

掃描范圍大：顯示的是樣品的大區(qū)域，放大倍數(shù)低；

掃描范圍小：電子束集中掃描一個(gè)小區(qū)域，放大倍數(shù)高。

二、如何調(diào)整掃描范圍？

1. 通過調(diào)整放大倍數(shù)來控制

放大倍數(shù)越高，實(shí)際掃描的面積越小；

例如，從 500 倍放大到 5000 倍時(shí)，掃描范圍會(huì)變成原來的 1/10。

2. 使用軟件中的縮放控制

多數(shù) SEM 軟件提供“Magnification”或“Zoom”調(diào)節(jié)功能，滑動(dòng)條或數(shù)值輸入；

向上調(diào)節(jié)放大倍率 = 減小掃描范圍；

向下調(diào)節(jié)放大倍率 = 擴(kuò)大掃描范圍。

3. 使用“縮放區(qū)域”功能

有些設(shè)備允許用戶框選一個(gè)區(qū)域進(jìn)行“局部縮放”；

這會(huì)把焦點(diǎn)集中到你指定的掃描范圍里。

三、為什么要改變掃描范圍？

縮小掃描范圍（放大）：用于觀察樣品的微觀結(jié)構(gòu)，如晶粒、表面粗糙度、裂紋、納米顆粒等；

擴(kuò)大掃描范圍（縮小）：用于定位、整體結(jié)構(gòu)觀察、找目標(biāo)區(qū)域。

四、注意事項(xiàng)

放大倍率與分辨率無直接關(guān)系

分辨率取決于電子束質(zhì)量、樣品導(dǎo)電性、工作距離等。

掃描范圍縮小時(shí)圖像更容易抖動(dòng)或模糊

需要更精細(xì)的對焦；

控制樣品穩(wěn)定，避免漂移。

倍率越高，掃描范圍越小，比例尺越短

這對圖像標(biāo)尺和尺寸測量有重要影響。