掃描電鏡成像模糊是焦沒調好嗎?
日期:2025-07-08
掃描電鏡(SEM)成像模糊很大可能是焦距沒有調好。成像模糊的成因通??梢苑譃閷箚栴}、樣品問題、參數設置問題和機械或電子系統問題。下面是詳細分析:
一、常見原因:焦距沒有調好(未聚焦)
表現:
圖像整體發虛,邊緣輪廓不清;
放大倍率越高越模糊;
對焦時圖像波動劇烈。
解決方法:
在低倍時先調節“Z軸”或工作距離(WD),讓樣品表面接近焦平面;
再用“Focus(聚焦)”旋鈕精細調節焦點;
逐步放大倍率,邊放大邊繼續微調焦距;
如有“Auto Focus”功能可嘗試自動對焦后微調。
二、樣品未置于焦點面上(Z軸高度不當)
SEM 中成像清晰通常要求樣品表面位于設定的工作距離(如 10 mm);
如果樣品太高或太低,焦距會偏離,導致圖像模糊。
建議:
調整樣品高度或平臺 Z 軸,確保目標區域位于焦點范圍內;
高倍率時尤其要嚴格控制焦平面。
三、樣品移動、漂移或帶電
漂移或抖動會使圖像產生運動模糊;
帶電會導致圖像晃動、跳動或模糊;
常發生在非導電樣品未噴金處理時。
應對方法:
檢查樣品固定是否牢固;
提高導電性(噴金、噴碳、導電膠);
使用低電壓成像或低真空模式減輕充電效應。
四、電子束參數設置不當
束斑過大或光斑未收斂,會讓圖像發虛;
探測器增益過高或對比度過低也會讓圖像顯得模糊不清。
建議:
減小束斑尺寸;
調整聚光器強度(Condenser lens);
設置合適的亮度、對比度、掃描速度。
五、放大倍率太高、分辨率超限
有些樣品本身細節不足,或 SEM 本身分辨率有限;
在超出成像極限時強行放大,會出現“虛假模糊”。
解決:
降低倍率觀察;
更換高分辨率模式或高分辨率樣品(如噴金后再觀察);
TAG:
作者:澤攸科技
上一篇:掃描電鏡樣品成像時被燒焦了怎么辦?
下一篇:暫無