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    掃描電鏡成像模糊是焦沒調好嗎?

    日期:2025-07-08

    掃描電鏡(SEM)成像模糊很大可能是焦距沒有調好。成像模糊的成因通??梢苑譃閷箚栴}、樣品問題、參數設置問題和機械或電子系統問題。下面是詳細分析:

    一、常見原因:焦距沒有調好(未聚焦)

    表現:

    圖像整體發虛,邊緣輪廓不清;

    放大倍率越高越模糊;

    對焦時圖像波動劇烈。

    解決方法:

    在低倍時先調節“Z軸”或工作距離(WD),讓樣品表面接近焦平面;

    再用“Focus(聚焦)”旋鈕精細調節焦點;

    逐步放大倍率,邊放大邊繼續微調焦距;

    如有“Auto Focus”功能可嘗試自動對焦后微調。

    二、樣品未置于焦點面上(Z軸高度不當)

    SEM 中成像清晰通常要求樣品表面位于設定的工作距離(如 10 mm);

    如果樣品太高或太低,焦距會偏離,導致圖像模糊。

    建議:

    調整樣品高度或平臺 Z 軸,確保目標區域位于焦點范圍內;

    高倍率時尤其要嚴格控制焦平面。

    三、樣品移動、漂移或帶電

    漂移或抖動會使圖像產生運動模糊;

    帶電會導致圖像晃動、跳動或模糊;

    常發生在非導電樣品未噴金處理時。

    應對方法:

    檢查樣品固定是否牢固;

    提高導電性(噴金、噴碳、導電膠);

    使用低電壓成像或低真空模式減輕充電效應。

    四、電子束參數設置不當

    束斑過大或光斑未收斂,會讓圖像發虛;

    探測器增益過高或對比度過低也會讓圖像顯得模糊不清。

    建議:

    減小束斑尺寸;

    調整聚光器強度(Condenser lens);

    設置合適的亮度、對比度、掃描速度。

    五、放大倍率太高、分辨率超限

    有些樣品本身細節不足,或 SEM 本身分辨率有限;

    在超出成像極限時強行放大,會出現“虛假模糊”。

    解決:

    降低倍率觀察;

    更換高分辨率模式或高分辨率樣品(如噴金后再觀察);


    TAG:

    作者:澤攸科技


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