如何在掃描電鏡中精確定位觀察區(qū)域？
日期：2025-05-20
在掃描電子顯微鏡（SEM）中精確定位觀察區(qū)域是獲得有代表性圖像和高質(zhì)量分析的基礎。實現(xiàn)精準定位通常需要結(jié)合設備功能、樣品準備方法以及用戶操作經(jīng)驗。以下是幾種常用且實用的定位技巧：
1. 使用光學導航功能（如帶有光學顯微鏡的樣品艙）
許多現(xiàn)代 SEM 配有內(nèi)置光學導航系統(tǒng)，允許在加載樣品前或加載后使用光學圖像進行粗略定位。你可以先通過光學成像找到感興趣區(qū)域，再切換到電子束模式進行放大觀察。
2. 利用低倍電子束圖像進行整體導航
進入 SEM 后，使用較低放大倍數(shù)（如 30x～100x）快速瀏覽樣品表面，觀察特征區(qū)域、劃痕、顆粒、裂紋等明顯結(jié)構(gòu)，作為后續(xù)放大的“路標”。
3. 樣品預標記（物理劃痕或參考點）
在樣品上使用針尖或刀片輕輕劃出微小標記（十字、刻痕等），用于定位參考。這種方法在觀察多個區(qū)域或做前后對比時非常有用，特別適合大面積樣品（如金屬片、陶瓷片）。
4. 結(jié)合顯微樣品臺的機械坐標系統(tǒng)
SEM 樣品臺一般具備 XYZ 平移與旋轉(zhuǎn)功能，并帶有讀數(shù)或坐標反饋。記錄樣品某一位置的坐標值，就可以在后續(xù)操作中快速返回到該位置，適用于多點重復觀察或區(qū)域掃描。
5. 使用多區(qū)拍照功能或馬賽克掃描模式（若儀器支持）
部分SEM 支持大范圍掃描與圖像拼接，可以對樣品大區(qū)域成像形成“導航圖”，再在圖中選定具體區(qū)域做高分辨率觀察。這種方式特別適合薄膜、半導體芯片或組織切片等樣品。
6. 對照已知樣品結(jié)構(gòu)或排布特征
例如觀察多孔材料、晶體、顆粒、圖案化芯片等樣品時，可以根據(jù)形貌特征、排列規(guī)律或設計圖紙快速定位到指定區(qū)域。這種方法對操作熟練者尤其有效。
7. 軟件輔助標注與導航
許多 SEM 軟件支持對圖像進行標注、記錄和導航。你可以在低倍圖像中標記感興趣區(qū)域，后續(xù)可通過點擊標記自動移動樣品臺到目標區(qū)域。
8. 使用輔助標尺或定位器
對于較小樣品，可以在樣品臺上放置帶有標尺刻度或網(wǎng)格定位片（如碳膜網(wǎng)格、微米刻度片），方便觀察區(qū)域的精確定位和復查。
作者：澤攸科技