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    如何在掃描電鏡中精確定位觀察區域?

    日期:2025-05-20

    在掃描電子顯微鏡(SEM)中精確定位觀察區域是獲得有代表性圖像和高質量分析的基礎。實現精準定位通常需要結合設備功能、樣品準備方法以及用戶操作經驗。以下是幾種常用且實用的定位技巧:

    1. 使用光學導航功能(如帶有光學顯微鏡的樣品艙)

    許多現代 SEM 配有內置光學導航系統,允許在加載樣品前或加載后使用光學圖像進行粗略定位。你可以先通過光學成像找到感興趣區域,再切換到電子束模式進行放大觀察。

    2. 利用低倍電子束圖像進行整體導航

    進入 SEM 后,使用較低放大倍數(如 30x~100x)快速瀏覽樣品表面,觀察特征區域、劃痕、顆粒、裂紋等明顯結構,作為后續放大的“路標”。

    3. 樣品預標記(物理劃痕或參考點)

    在樣品上使用針尖或刀片輕輕劃出微小標記(十字、刻痕等),用于定位參考。這種方法在觀察多個區域或做前后對比時非常有用,特別適合大面積樣品(如金屬片、陶瓷片)。

    4. 結合顯微樣品臺的機械坐標系統

    SEM 樣品臺一般具備 XYZ 平移與旋轉功能,并帶有讀數或坐標反饋。記錄樣品某一位置的坐標值,就可以在后續操作中快速返回到該位置,適用于多點重復觀察或區域掃描。

    5. 使用多區拍照功能或馬賽克掃描模式(若儀器支持)

    部分SEM 支持大范圍掃描與圖像拼接,可以對樣品大區域成像形成“導航圖”,再在圖中選定具體區域做高分辨率觀察。這種方式特別適合薄膜、半導體芯片或組織切片等樣品。

    6. 對照已知樣品結構或排布特征

    例如觀察多孔材料、晶體、顆粒、圖案化芯片等樣品時,可以根據形貌特征、排列規律或設計圖紙快速定位到指定區域。這種方法對操作熟練者尤其有效。

    7. 軟件輔助標注與導航

    許多 SEM 軟件支持對圖像進行標注、記錄和導航。你可以在低倍圖像中標記感興趣區域,后續可通過點擊標記自動移動樣品臺到目標區域。

    8. 使用輔助標尺或定位器

    對于較小樣品,可以在樣品臺上放置帶有標尺刻度或網格定位片(如碳膜網格、微米刻度片),方便觀察區域的精確定位和復查。


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    作者:澤攸科技


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