中文
English

樣品在掃描電子顯微鏡（SEM）中的放置角度確實(shí)會(huì)影響獲得的圖像質(zhì)量和信息。具體影響主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

信號(hào)強(qiáng)度和對(duì)比度變化

SEM 的電子束垂直照射樣品表面時(shí)，反射電子（反射電子成像）和二次電子（形貌成像）信號(hào)通常更強(qiáng)，圖像對(duì)比度較好。如果樣品傾斜角度較大，電子束入射角變斜，信號(hào)強(qiáng)度可能減弱，導(dǎo)致圖像對(duì)比度降低或細(xì)節(jié)不清晰。

形貌和立體感的表現(xiàn)

適當(dāng)傾斜樣品（比如通常傾斜 30° 或 45°）可以增強(qiáng)表面立體感，因?yàn)槎坞娮有盘?hào)受表面粗糙度和角度影響較大。這種傾斜常用于觀察斷口、斷層、刻蝕結(jié)構(gòu)等，有助于獲得更明顯的三維形貌信息。

幾何畸變和尺寸測(cè)量誤差

樣品放置角度不垂直于電子束時(shí)，圖像會(huì)產(chǎn)生幾何投影畸變，測(cè)量尺寸時(shí)需要校正傾斜角度，否則得到的尺寸數(shù)據(jù)會(huì)偏大或偏小。

元素分析信號(hào)的影響

在做能譜（EDS）分析時(shí)，樣品角度會(huì)影響X射線的產(chǎn)生和探測(cè)效率，傾斜過大會(huì)導(dǎo)致信號(hào)減弱或不均勻，從而影響元素定量分析的準(zhǔn)確性。

避免陰影效應(yīng)

如果樣品角度擺放不當(dāng)，特別是高大結(jié)構(gòu)或凸起部分，會(huì)在電子束照射下產(chǎn)生陰影，導(dǎo)致圖像部分區(qū)域信號(hào)缺失或變暗。