在掃描電鏡中如何設定掃描速度？對圖像有何影響？
日期：2025-05-12
在掃描電子顯微鏡（SEM）中，掃描速度指的是電子束在樣品表面每個像素上停留的時間，通常通過設置“幀時間”或“像素駐留時間”來調節。這個參數對圖像的質量影響很大。
如何設定掃描速度
掃描模式選擇：常見模式有：
快速掃描（Fast Scan）：用于快速預覽樣品。
慢速掃描（Slow Scan）：用于高質量圖像采集。
調節幀率或駐留時間：
在 SEM 控制界面中，通常可以設定“幀時間”（如 1 秒、10 秒）或“像素駐留時間”（如 10 μs、100 μs）。
有些系統允許設定掃描分辨率（如 512×512、1024×1024），間接影響掃描速度。
平均掃描（Frame Averaging）：
可通過設置多幀平均（如平均 4 幀、8 幀）提升圖像信噪比，但總掃描時間會變長。
當掃描速度較快時，電子束在每個像素上的停留時間很短，信號采集不充分，圖像容易出現噪點，顆粒感重，清晰度不高。這種設置適合用于快速瀏覽樣品結構或在調整焦距、亮度、對比度時使用。
而當掃描速度較慢時，電子束有更長時間作用于每個像素，從而產生更多的信號，圖像更清晰、對比度更高，細節也更容易分辨。但缺點是如果樣品不穩定，比如容易充電、熱敏感或存在機械漂移，那么圖像可能會出現模糊、拖影或者局部變形。
為了在保證圖像質量的同時降低樣品損傷和漂移風險，有時會采用“平均掃描”的方法，即快速掃描多幀后平均疊加成一幅圖像，這樣可以兼顧速度和質量。
因此，掃描速度設置應根據樣品類型、圖像清晰度需求以及系統穩定性靈活調整。如果你在拍攝過程中發現圖像噪聲大、細節模糊，建議適當減慢掃描速度或啟用多幀平均功能。反之，若圖像出現拖影或樣品損傷，可適當提高掃描速度或降低電子束電流。
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作者：澤攸科技