掃描電鏡是一種高分辨率顯微技術(shù)，可以通過(guò)掃描樣品表面并探測(cè)樣品表面反射、散射的電子信號(hào)來(lái)獲得樣品表面形貌、結(jié)構(gòu)和組成等信息。掃描電鏡可以通過(guò)改變電子束的聚焦和放大倍數(shù)來(lái)調(diào)節(jié)圖像的放大程度，下面是掃描電鏡放大倍數(shù)計(jì)算方式的簡(jiǎn)要介紹。

SEM圖像的放大倍數(shù)通常分為實(shí)際放大倍數(shù)和顯示放大倍數(shù)兩種。

實(shí)際放大倍數(shù) = 探測(cè)器到樣品距離 / 樣品上所顯示的實(shí)際長(zhǎng)度

探測(cè)器到樣品距離指的是電子槍和樣品之間的距離，這個(gè)距離可以由SEM中的聚焦系統(tǒng)調(diào)節(jié)，探測(cè)器到樣品距離越小，則實(shí)際放大倍數(shù)越大。

樣品上所顯示的實(shí)際長(zhǎng)度可以由樣品尺寸進(jìn)行測(cè)量得到，例如SEM圖像中一條線的長(zhǎng)度可以通過(guò)顯微鏡測(cè)量尺寸得到。

顯示放大倍數(shù)是SEM圖像在顯示器上顯示的放大倍數(shù)，通常是實(shí)際放大倍數(shù)的一個(gè)固定倍數(shù)，可以由SEM中的圖像處理系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)節(jié)。例如，如果實(shí)際放大倍數(shù)是1000，顯示放大倍數(shù)是2000，則SEM圖像在顯示器上顯示的放大倍數(shù)是2000。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

需要注意的是，SEM中的放大倍數(shù)是指圖像的線性放大倍數(shù)，即圖像中一個(gè)單位長(zhǎng)度在樣品上所對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度，而不是面積放大倍數(shù)或體積放大倍數(shù)。因此，在使用SEM進(jìn)行圖像分析和測(cè)量時(shí)，需要了解和計(jì)算實(shí)際放大倍數(shù)和顯示放大倍數(shù)。

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