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掃描電子顯微鏡的原理及應用

掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)是一種利用高速電子掃描來研究材料表面形態(tài)和結構的儀器。相比于傳統(tǒng)光學顯微鏡,SEM具有更高的分辨率和深度,可以觀察到更小尺度的微觀結構和表面形貌。SEM在材料科學、生物學、地質學、電子學等領域廣泛應用。

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掃描電子顯微鏡的原理

掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)是一種利用電子束與樣品相互作用,獲得高分辨率的顯微成像的儀器。其原理可以簡單描述如下:電子源發(fā)射出電子束,經(jīng)過一系列的透鏡系統(tǒng)進行聚焦,使得電子束成為一個極細的束。

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