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    掃描電鏡是如何成像的?

    日期:2023-02-24

    掃描電鏡(SEM)是利用電子束與樣品相互作用來成像的一種顯微鏡。其成像原理可以簡述為以下幾個步驟:

    電子束的發射:SEM中的電子槍通過加熱陰極,使其發射出高速電子束。這些電子被聚焦和加速,形成高能電子束,進入掃描線圈,通過掃描線圈的變化,實現對樣品表面的掃描。

    樣品表面的相互作用:電子束掃描到樣品表面時,會與樣品原子產生相互作用,如散射、反射、透射等。這些作用會產生一系列信號,包括二次電子(SE)信號、回散電子(BSE)信號、X射線、次級離子(SI)等。

    信號的檢測和轉換:SEM中設有相應的探測器,可以接收上述不同信號。其中,SE信號主要由二次電子探測器接收,BSE信號主要由回散電子探測器接收。探測器將信號轉換為電信號,并通過電路放大和處理,輸出到顯示器上。

    形成圖像:顯示器顯示出經處理后的信號,形成樣品表面的圖像。SEM圖像中的亮暗和顏色反映了樣品表面的不同性質和成分,如SE信號主要反映表面形貌,BSE信號反映樣品的化學成分和密度等信息。

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    作者:澤攸科技


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