澤攸科技完全自主研制等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）及二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)。

產(chǎn)品介紹

多功能電感耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（CVD）是用來(lái)制備高純、高性能固體薄膜的主要技術(shù)，主要借助微波或射頻 的方法將目標(biāo)氣體進(jìn)行電離，促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)在較低的溫度下進(jìn)行，從而在基片上沉積出所期望的薄膜。 

目前項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的CVD設(shè)備可在多種襯底上（如金屬、氧化物、半導(dǎo)體表面）直接生長(zhǎng)以石墨烯為代表的各類新型二維 材料，用于新材料、新器件的研發(fā)。工藝簡(jiǎn)單廉價(jià)，且具有傳統(tǒng)半導(dǎo)體生長(zhǎng)工藝的兼容性。

符合CE認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)的二維材料轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，可用于機(jī)械解理 的各種二維材料的轉(zhuǎn)移及二維材料范德華異質(zhì)結(jié)的堆疊，尤其適用于二維材料的準(zhǔn)確轉(zhuǎn)角調(diào)控。

樣品可以多方向多角度的相對(duì)移動(dòng)，大氣環(huán)境下也可保 障二維異質(zhì)結(jié)的界面干凈無(wú)氣泡；精巧的設(shè)計(jì)，全電動(dòng) 控制，可提供真空環(huán)境，也可以輕松置于手套箱中操 作，適用于穩(wěn)定性較差的二維磁性材料等研究。

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