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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD/PECVD應(yīng)用案例

日期：2022-11-07

CVD應(yīng)用——Graphene在任意襯底上的無催化生長

CVD應(yīng)用——外延Graphene/BN異質(zhì)結(jié)與摩爾超晶格

CVD應(yīng)用——Graphene的各向異性刻蝕技術(shù)發(fā)展

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