在掃描電鏡拍照過程中出現(xiàn)拖影，通常表現(xiàn)為圖像邊緣模糊、結(jié)構(gòu)拉伸或重復(fù)陰影，這種現(xiàn)象往往與樣品、電子束或掃描設(shè)置有關(guān)。為了避免拖影，需要從樣品準(zhǔn)備、設(shè)備調(diào)節(jié)和操作習(xí)慣三方面綜合控制。

首先，要確保樣品固定牢固。拖影常常是樣品在成像過程中輕微移動(dòng)造成的，因此樣品須在樣品臺上緊密固定，避免在真空抽取或掃描時(shí)晃動(dòng)。如果樣品較輕或形狀不規(guī)則，可以使用導(dǎo)電膠或?qū)щ娔z帶牢牢粘貼，必要時(shí)還可采用金屬支撐片增強(qiáng)穩(wěn)定性。

其次，要調(diào)整掃描參數(shù)。過快的掃描速度可能導(dǎo)致信號采集不足，從而引起圖像模糊或條紋；而過慢的掃描速度又容易放大電子束漂移造成的拖影。一般可以通過適度降低掃描速度并增加幀數(shù)平均，獲得較平衡的信噪比。同時(shí)，保證電子束聚焦良好、工作距離適當(dāng)、加速電壓匹配樣品特性，也能有效減少圖像拖影。

第三，要注意電子束穩(wěn)定性與環(huán)境干擾。如果電源波動(dòng)、磁場干擾或真空系統(tǒng)不穩(wěn)，都會(huì)使電子束發(fā)生輕微漂移，導(dǎo)致掃描路徑不一致，形成拖影。操作前應(yīng)確保電鏡處于穩(wěn)定的工作狀態(tài)，周圍沒有強(qiáng)磁源或振動(dòng)源，并盡量在室溫穩(wěn)定時(shí)拍攝。此外，樣品若為非導(dǎo)電材料，應(yīng)事先噴鍍金屬層或降低束流，以避免電荷積累造成的掃描線偏移。

拖影的具體原因可能因設(shè)備型號、樣品類型及環(huán)境條件不同而有所差異。不同品牌或系列的掃描電鏡對焦方式、掃描系統(tǒng)靈敏度和防漂移算法各不相同，因此在操作時(shí)應(yīng)結(jié)合設(shè)備說明和廠家建議進(jìn)行優(yōu)化調(diào)整，必要時(shí)向技術(shù)工程師咨詢具體參數(shù)設(shè)定。