在掃描電子顯微鏡（SEM）中，正確找到焦點（焦平面）是獲得清晰圖像的關鍵步驟。下面我詳細說明操作方法和注意事項：

一、焦點的判斷依據(jù)

圖像清晰度

當樣品表面在焦平面時，電子束聚焦最小，圖像邊緣銳利。

微調(diào)焦距時，圖像由模糊到清晰再到模糊，最清晰處即為焦點。

對比度和細節(jié)

焦點正確時，表面微結構和邊緣細節(jié)清晰。

離焦時，圖像邊緣模糊，顆粒或紋理細節(jié)丟失。

無拖影或波紋

掃描過程中，焦點偏離會產(chǎn)生條紋、波紋或拖尾。

焦點正確時，圖像穩(wěn)定無抖動。

二、焦點調(diào)整操作步驟（通用）

粗調(diào)焦

切換到低放大倍率觀察樣品整體。

調(diào)整樣品臺 Z 軸（上下移動）或電子束工作距離（WD）讓圖像大致清晰。

微調(diào)焦

切換到高放大倍率（如 ×5000 或更高）。

使用 Fine Focus（細調(diào)焦旋鈕）緩慢旋轉(zhuǎn)。

觀察圖像清晰度變化，直到邊緣銳利、細節(jié)最清晰。

對不同區(qū)域取平均焦點

如果樣品表面不平整，可選擇多個區(qū)域微調(diào)焦距。

對不同區(qū)域單獨聚焦或調(diào)整樣品臺角度，使表面盡量平行于電子束。

三、輔助方法

自動聚焦

大多數(shù) SEM 有自動聚焦功能。

儀器通過圖像銳度算法調(diào)整透鏡電流，使圖像達到最大清晰度。

自動聚焦適合快速定位，但高分辨率下仍需微調(diào)。

電子束十字法（Spot Focus）

在高放大倍率下，顯示電子束中心區(qū)域。

調(diào)整焦距直到光斑最小、邊緣銳利。

景深判斷

SEM 景深大，觀察樣品表面不同高度區(qū)域。

清晰的高度即焦平面。