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掃描電鏡樣品上金屬鍍層厚度選擇

日期:2025-11-05

在掃描電鏡中,給樣品鍍金屬層主要是為了改善導(dǎo)電性,減少電子束下的電荷積累,同時提升圖像分辨率和對比度。金屬鍍層的厚度選擇需要考慮幾個因素,而且不同品牌和型號的鍍膜機、材料特性以及實驗?zāi)康臅兴町悾虼撕穸瓤梢宰稍儚S家的建議。

樣品導(dǎo)電性和電子束電壓。對于非導(dǎo)電樣品,鍍層需要足夠厚以迅速導(dǎo)走電子,但又不能太厚以免覆蓋微小表面結(jié)構(gòu)。一般低電壓成像可以使用較薄的鍍層,而高電壓成像則需要稍厚一些。

表面結(jié)構(gòu)分辨率。如果樣品表面有納米級細節(jié),鍍層過厚會導(dǎo)致這些結(jié)構(gòu)被覆蓋或模糊,因此在追求高分辨率成像時應(yīng)盡量使用薄鍍層,通常在幾納米到十幾納米范圍。

鍍膜材料選擇。常用的有金、鉑、碳等,不同材料沉積速率和附著力不同,厚度選擇也會有所不同。例如,鉑鍍層可做得更薄而仍能有效導(dǎo)電,而金鍍層在某些儀器下可能需要稍厚才能保證均勻覆蓋。

總之,金屬鍍層厚度需要在導(dǎo)電性、分辨率和表面細節(jié)保護之間權(quán)衡。不同設(shè)備和品牌的鍍膜系統(tǒng)性能不同,鍍層厚度推薦值也會有所差異,因此在具體實驗中結(jié)合廠家提供的參數(shù)和經(jīng)驗值來確定合適的厚度。


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作者:澤攸科技


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