掃描電鏡（SEM）幾乎所有成像模式都必須在真空環境下進行，只是 真空度要求的高低會根據樣品和成像模式而不同。

為什么需要真空

電子束傳輸的需要

在大氣環境中，電子會與空氣分子頻繁碰撞，導致電子散射和能量損失。

真空環境減少氣體分子密度，保證電子束穩定傳播和聚焦，形成細小探針點。

探測信號的需要

樣品表面發射出的二次電子、背散射電子等信號在空氣中傳播距離短。

真空保證這些信號不被吸收或散射，從而清晰到達探測器。

避免放電和污染

高壓加速電場在空氣中容易產生電弧放電，危及電子槍和探測器。

真空環境避免水汽、油分子等污染沉積在電子槍和透鏡上，保持成像質量。

真空類型

高真空模式：大多數金屬、半導體樣品使用，分辨率高。

低真空或環境 SEM 模式：適合含水、非導電或生物樣品，可以在低真空下減少電荷效應。