在掃描電鏡（SEM）中，如果樣品是非導(dǎo)電材料或者導(dǎo)電處理不充分，電子束照射會(huì)在表面積累電荷，從而產(chǎn)生 電子充電噪聲，其表現(xiàn)主要有以下幾類：

1. 圖像亮暗不均

局部區(qū)域過亮或過暗，尤其是絕緣或薄層區(qū)域。

在連續(xù)掃描中，這些區(qū)域亮度會(huì)不斷變化。

2. 條紋或閃爍

充電區(qū)域可能出現(xiàn)水平或垂直條紋，與掃描方向相關(guān)。

圖像閃爍或跳動(dòng)，尤其在放大倍數(shù)高時(shí)更明顯。

3. 邊緣拖影或模糊

電子束與樣品邊緣的電荷相互作用，導(dǎo)致邊緣信號(hào)偏移。

條形或顆粒邊緣出現(xiàn)拖影，圖像不清晰。

4. 信號(hào)隨機(jī)噪聲增強(qiáng)

原本信號(hào)較弱的區(qū)域可能出現(xiàn)隨機(jī)亮點(diǎn)或噪點(diǎn)。

類似“雪花”狀噪聲，影響定量測(cè)量。

5. 掃描偏移或圖像扭曲

充電會(huì)改變電子束路徑，導(dǎo)致圖像整體或局部形變。

特別在高分辨率下，容易產(chǎn)生扭曲或非線性失真。