在掃描電鏡（SEM）中，噪聲主要來(lái)源于探測(cè)器信號(hào)的統(tǒng)計(jì)波動(dòng)（電子數(shù)有限）和電子學(xué)噪聲。提高電子束電流是降低噪聲的一種常用方法，但要注意操作方法和潛在副作用。下面詳細(xì)說(shuō)明：

一、原理

SEM 圖像的亮度由探測(cè)到的二次電子或背散射電子數(shù)量決定。

噪聲呈統(tǒng)計(jì)特性，服從泊松分布，即電子數(shù)越少，信號(hào)波動(dòng)越大。

提高電子束電流意味著單位時(shí)間內(nèi)撞擊樣品的電子數(shù)增加，信號(hào)增大，相對(duì)噪聲（噪聲與信號(hào)比）降低，圖像更平滑。

二、提高電子束電流的方法

調(diào)節(jié)束流

在 SEM 控制面板中增加光闌開(kāi)口或加大發(fā)射電流。

保證加大束流后不會(huì)超過(guò)樣品耐受范圍。

延長(zhǎng)積分時(shí)間或掃描速度。

單點(diǎn)或單像素的采集時(shí)間增加，累計(jì)電子數(shù)增多。

等效于增加信號(hào)，降低噪聲。

使用低加速電壓時(shí)的高束流模式。

對(duì)非敏感樣品可增加束流，但要注意低電壓下束斑擴(kuò)散可能導(dǎo)致分辨率下降。