掃描電鏡提高電子束電流降低噪聲的方法
日期：2025-09-17
在掃描電鏡（SEM）中，噪聲主要來源于探測器信號的統計波動（電子數有限）和電子學噪聲。提高電子束電流是降低噪聲的一種常用方法，但要注意操作方法和潛在副作用。下面詳細說明：
一、原理
SEM 圖像的亮度由探測到的二次電子或背散射電子數量決定。
噪聲呈統計特性，服從泊松分布，即電子數越少，信號波動越大。
提高電子束電流意味著單位時間內撞擊樣品的電子數增加，信號增大，相對噪聲（噪聲與信號比）降低，圖像更平滑。
二、提高電子束電流的方法
調節束流
在 SEM 控制面板中增加光闌開口或加大發射電流。
保證加大束流后不會超過樣品耐受范圍。
延長積分時間或掃描速度。
單點或單像素的采集時間增加，累計電子數增多。
等效于增加信號，降低噪聲。
使用低加速電壓時的高束流模式。
對非敏感樣品可增加束流，但要注意低電壓下束斑擴散可能導致分辨率下降。
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作者：澤攸科技
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