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如何提高掃描電鏡圖像對比度

日期:2025-09-24

提高掃描電鏡(SEM)圖像對比度,可以從 電子束條件、樣品處理、探測方式和成像參數 四個方向入手:

1. 電子束條件優(yōu)化

加速電壓調整:較低電壓時,二次電子信號占優(yōu)勢,表面形貌對比增強;較高電壓則更容易看清內部結構。

束流控制:合適的束流強度能提升信號量,從而增強明暗差別,但過強會導致充電或損傷。

2. 樣品處理

導電鍍膜:對絕緣樣品進行金、鉑或碳鍍膜,可減少充電并增強邊緣清晰度。

表面清潔:去除油脂和污染物,避免背景信號干擾對比度。

選擇性腐蝕或斷面制備:在材料科學中,適當的制備能突出不同相的差異。

3. 探測器與信號選擇

二次電子(SE)信號:適合觀察表面形貌,邊緣對比強烈。

背散射電子(BSE)信號:對原子序數差異敏感,能增強成分對比。

混合模式:同時采集 SE 和 BSE 信號,根據需要調整權重,獲得高質量的對比度。

4. 成像與后處理參數

工作距離:較短的工作距離可提升分辨率,改善對比。

掃描速度:降低掃描速度或使用幀累積,能減少噪聲,提高對比度。

亮度與對比度設置:在圖像采集軟件中實時調整,避免過曝或過暗。

后處理:適度的直方圖均衡或伽瑪調整,可進一步優(yōu)化對比度,但應避免過度處理以免失真。


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作者:澤攸科技


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