在掃描電子顯微鏡（SEM）中，偽影是指圖像中出現(xiàn)的非樣品真實(shí)結(jié)構(gòu)的信號(hào)或形態(tài)，它們會(huì)誤導(dǎo)觀察者，通常來(lái)源于樣品制備、設(shè)備本身或成像條件。可以理解為“假象細(xì)節(jié)”。

1. 偽影的來(lái)源

(1) 樣品制備相關(guān)

表面污染：灰塵、油脂或殘留溶劑可能被電子束激發(fā)，產(chǎn)生亮斑或陰影。

鍍膜不均：金/碳鍍膜厚度不均，導(dǎo)致局部亮度異常或紋理偽影。

機(jī)械損傷：切片、拋光、壓痕可能在圖像上顯示為非原生結(jié)構(gòu)。

干燥/脫水問(wèn)題（生物樣品）：樣品收縮、皺折形成假形貌。

(2) 電子束與設(shè)備因素

充電效應(yīng)：非導(dǎo)電樣品累積電荷，使局部信號(hào)增強(qiáng)或漂移，產(chǎn)生亮斑或條紋。

束掃描掃描偽影：掃描速度過(guò)快或掃描線錯(cuò)誤可能造成條紋、波紋。

探測(cè)器非均勻性：二次電子探測(cè)器響應(yīng)差異產(chǎn)生亮暗條紋。

振動(dòng)或漂移：臺(tái)面移動(dòng)、樣品熱膨脹或環(huán)境振動(dòng)會(huì)導(dǎo)致模糊或重復(fù)圖案。

(3) 圖像處理引入

濾波、增強(qiáng)或插值：不當(dāng)處理可能引入假紋理或偽結(jié)構(gòu)。

2. 常見(jiàn)SEM偽影類型

條紋或線狀偽影：掃描線誤差或探測(cè)器響應(yīng)不均造成。

亮斑/暗斑：表面污染或充電效應(yīng)。

重復(fù)圖案：振動(dòng)或掃描疊加產(chǎn)生。

邊緣增強(qiáng)假象：軟件銳化或?yàn)V波過(guò)度。

收縮/皺折偽影：干燥或脫水生物樣品特有。

3. 避免或減少偽影的方法

樣品制備：保持清潔、均勻鍍膜、減小機(jī)械損傷。

導(dǎo)電處理：鍍金/碳或使用低加速電壓、低真空模式減少充電。

調(diào)整掃描參數(shù)：合理掃描速度、像素密度和焦距。

穩(wěn)定環(huán)境：減少振動(dòng)、溫度波動(dòng)和空氣流動(dòng)。

圖像處理謹(jǐn)慎：避免過(guò)度濾波或插值。