掃描電鏡樣品導電性不足導致圖像模糊的解決方法
日期：2025-09-10
在掃描電鏡（SEM）觀察中，如果樣品導電性不足，會造成電荷積累（charging effect），從而導致圖像模糊、漂移或亮度不均。常見的解決方法有：
導電鍍膜
使用 金（Au）、鉑（Pt）、碳（C）等導電材料進行噴鍍或蒸鍍。
薄膜厚度一般控制在 5–20 nm，既能保證導電性，又盡量不掩蓋細節。
碳鍍膜更適合做 元素分析（EDS/EDX），因為它不會引入金屬元素信號。
降低加速電壓
適當降低 加速電壓（1–5 kV），減少電子在樣品內部的穿透深度，降低電荷積累。
同時可以增強表面敏感性，但要平衡分辨率的需求。
使用低真空或環境 SEM（LV-SEM, ESEM）
在低真空模式下，腔室內有少量氣體分子（如水蒸氣），它們會中和樣品表面電荷。
特別適合生物、陶瓷、高分子等非導電材料。
噴涂導電劑
在樣品表面涂覆 導電銀漆、碳膠等，幫助電荷釋放到樣品臺。
常用于樣品邊緣或背面連接到樣品臺，保證接地良好。
優化樣品安裝
確保樣品與樣品臺接觸良好，避免懸空或接觸不牢。
必要時在樣品邊緣點涂導電膠，增加導電通路。
圖像采集策略
使用慢掃描+幀累積，提高信噪比。
減小電子束電流，降低電荷積累速度。
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作者：澤攸科技