亮暗對(duì)比是掃描電鏡（SEM）圖像基本的特征之一。亮暗對(duì)比的形成，主要來(lái)自樣品表面與電子束相互作用后信號(hào)的差異?？梢詮膸讉€(gè)方面理解：

1. 材料成分差異

不同元素的原子序數(shù)不同，對(duì)入射電子的散射和能量損失程度不同。

原子序數(shù)高的區(qū)域（比如金、鉑等重元素）會(huì)產(chǎn)生更強(qiáng)的背散射電子信號(hào)，圖像上顯得更亮。

原子序數(shù)低的區(qū)域（如碳、氧等輕元素）背散射電子少，看起來(lái)更暗。

這就是所謂的 成分對(duì)比。

2. 表面形貌差異

表面形貌會(huì)影響二次電子的發(fā)射量。

當(dāng)表面有 凸起、銳利邊緣 時(shí)，二次電子容易逃逸出來(lái)，信號(hào)更強(qiáng)，局部顯得更亮。

在 凹陷或陡峭谷底，電子容易被重新吸收或難以逸出，信號(hào)減弱，圖像就暗。

這就是 形貌對(duì)比，通常用二次電子像來(lái)體現(xiàn)。

3. 樣品電荷效應(yīng)

非導(dǎo)電樣品在電子束轟擊下會(huì)積累電荷，造成電子逸出不均：

可能出現(xiàn)局部過(guò)亮（電子積聚，增強(qiáng)信號(hào)）。

或者過(guò)暗（電荷排斥入射電子，信號(hào)減弱）。

4. 電子束與樣品的入射角

電子束傾斜入射或樣品表面角度不同，也會(huì)影響信號(hào)采集。傾斜表面往往有更高的二次電子產(chǎn)額，看起來(lái)更亮。