掃描電鏡（SEM）圖像中顆粒顯示模糊，通常是以下幾個原因造成的。根據(jù)經(jīng)驗(yàn)和常見問題，可以從以下幾個方面來排查和解決：

1. 未正確對焦

這是最常見的原因。若電子束未聚焦到樣品表面，圖像自然模糊。

解決方法：使用 SEM 的聚焦功能手動調(diào)節(jié)，使顆粒邊緣清晰銳利。

2. 樣品未置于最佳工作距離（WD）

工作距離不適當(dāng)，會導(dǎo)致像差或?qū)估щy，尤其在高倍率下更明顯。

解決方法：參考設(shè)備建議，將工作距離調(diào)整到適合當(dāng)前倍率的范圍，如 5–10 mm。

3. 樣品帶電

非導(dǎo)電樣品在電子束照射下積累電荷，會導(dǎo)致成像發(fā)虛、發(fā)亮、邊緣模糊等。

解決方法：

對樣品進(jìn)行金屬噴鍍；

或使用低真空/環(huán)境掃描電鏡模式；

降低束流或加上偏壓。

4. 束流過強(qiáng)或電子束漂移

束流太大可能使樣品受熱或損傷，也可能造成圖像抖動；

電子束漂移可能源于高壓不穩(wěn)定或磁場干擾。

解決方法：降低束流電流，穩(wěn)定高壓供電，檢查是否有外部電磁干擾源。

5. 樣品表面不平整或傾斜

表面凹凸不平或角度傾斜，某些區(qū)域無法與電子束焦點(diǎn)重合，也會導(dǎo)致局部模糊。

解決方法：使用樣品臺調(diào)平功能，確保觀測區(qū)域與電子束垂直。

6. 掃描速度過快（幀率太高）

掃描時間太短可能來不及積累足夠信號，導(dǎo)致圖像噪聲大、顆粒邊緣模糊。

解決方法：減慢掃描速度或使用幀累積功能提高圖像質(zhì)量。

7. 圖像分辨率或放大倍數(shù)設(shè)置不當(dāng)

如果放大倍率過高但圖像分辨率不足，顆粒邊緣可能模糊或失真。

解決方法：選擇與圖像清晰度匹配的放大倍率與分辨率。

8. 鏡筒或樣品污染

鏡頭污染或樣品表面附有污染層，也可能導(dǎo)致圖像模糊。

解決方法：清潔樣品或進(jìn)行樣品前處理，檢查鏡筒是否需要維護(hù)。