掃描電鏡（SEM）圖像采集過程中是可以實時調參的，而且這是實際操作中非常重要的一部分。操作員通常會在觀察圖像的同時，實時調整參數來優(yōu)化成像效果。

可以實時調整的主要參數包括：

1. 焦距

實時調整以獲取清晰圖像；

常配合放大倍數同步微調。

2. 像差校正

用于修正電子束的非對稱模糊；

實時調整，改善圖像清晰度，尤其在高倍率下非常關鍵。

3. 工作距離

可通過調整樣品臺高度（Z 軸）或電鏡柱的位置進行；

會影響圖像清晰度、景深和分辨率，實時微調以找適合焦面。

4. 加速電壓

實時切換不同電壓（如 1 kV、5 kV、10 kV）觀察材料不同深度或抑制帶電；

影響圖像穿透力、對比度和信號強度。

5. 探測器切換與信號通道選擇

實時切換 SE（次級電子）/ BSE（背散射電子）/ EDS 等通道；

比較不同圖像效果，選擇適合的成像方式。

6. 對比度與亮度

實時調整增強圖像可視性；

不影響實際圖像結構，但會改善觀察體驗。

7. 掃描速度或積分模式

快速掃描用于快速定位；

慢速掃描用于最終采圖，可實時切換觀察圖像變化。

8. 放大倍數

可連續(xù)調節(jié)放大倍數，邊觀察邊調整焦點與像差。

9. 電子束偏轉

實時調整圖像位置，使目標居中，方便觀察或拍照。