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在掃描電鏡（SEM）中，為了對(duì)比同一區(qū)域在不同放大倍數(shù)下的圖像細(xì)節(jié)差異，可以使用圖像處理軟件實(shí)現(xiàn)“多重圖層疊加”對(duì)比。這種方法在分析結(jié)構(gòu)演化、材料界面或缺陷局部特征時(shí)非常實(shí)用。以下是完整的操作思路：

一、采集圖像時(shí)的準(zhǔn)備工作

確保成像區(qū)域相同

在不同放大倍數(shù)下拍攝圖像時(shí)，務(wù)必保持中心位置一致。可使用樣品臺(tái)坐標(biāo)精確定位，或以標(biāo)記結(jié)構(gòu)為參照。

保存圖像格式一致

可使用 .tif 或 .png 格式，避免壓縮丟失細(xì)節(jié)。

標(biāo)記放大倍數(shù)、圖像尺寸

命名時(shí)標(biāo)注倍率如：sample_1kx.tif、sample_10kx.tif，方便后續(xù)對(duì)齊。

二、使用圖像處理軟件疊加圖層

可使用如下任一工具進(jìn)行疊加操作：

ImageJ / Fiji

Photoshop

Igor Pro（借助圖像波形疊加）

GIMP、MATLAB、Python 等也可實(shí)現(xiàn)

三、在 ImageJ / Fiji 中操作示例

步驟 1：導(dǎo)入圖像

打開軟件，F(xiàn)ile → Open 依次導(dǎo)入不同倍率圖像。

步驟 2：對(duì)齊圖像

使用 Plugins → Registration → StackReg 或 TurboReg 插件自動(dòng)對(duì)齊；

或手動(dòng)調(diào)整位置和縮放，讓高倍圖像與低倍圖像對(duì)齊。

步驟 3：疊加圖層

Image → Color → Merge Channels 將不同圖像分配到 R/G/B 通道，實(shí)現(xiàn)色彩疊加；

或 Image → Overlay → Add Image 添加為透明圖層進(jìn)行對(duì)比；

可調(diào)整圖層透明度，使細(xì)節(jié)在上下圖中切換可見。

步驟 4：設(shè)置圖層混合或遮罩

用 ROI 工具選定某一區(qū)域，在高倍圖中展示詳細(xì)結(jié)構(gòu)，其他區(qū)域保持低倍圖，形成“局部高分辨疊加”效果；

可做圖層遮罩（mask）控制顯示范圍。