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在掃描電鏡（SEM）中定位同一位置進行多次觀察，是實現重復成像、前后對比、時間演化研究的重要操作。為了確保能準確返回到相同區域，可通過以下幾個方法來實現：

1. 使用樣品臺的坐標記錄功能

大多數 SEM 配備了帶有 X、Y、Z、傾斜角（T）、旋轉角（R）的電動樣品臺，可以精確記錄并返回指定位置。

第一次觀察時，記錄當前樣品臺的 X、Y、Z、T、R 坐標值；

再次觀察時，將樣品臺移動回相同坐標；

精度較高，適用于大多數重復定位需求。

2. 在樣品上制作標記

如果樣品表面特征不明顯，可人工添加輔助定位標記：

用針尖在樣品或支撐基片上刻劃微小十字、線條、凹點等；

使用光刻、微球、金屬顆粒等人為布點；

標記應在目標區域附近但不遮擋目標，以便導航；

借助低倍圖像先找到標記，再逐步縮小至目標區域。

3. 拍攝導航圖并建立坐標參照

首先用較低倍率（如50×或100×）拍攝整塊樣品或較大區域的圖像；

在圖中標注你感興趣的位置；

之后再通過這些導航圖，結合臺面移動、方向調整，找回該點；

特別適用于手動樣品臺或無電控記憶功能的系統。

4. 使用軟件提供的“記憶點”功能

部分掃描電鏡帶有“Stage Memory”或“Navigator”等模塊：

可在軟件中添加多個“收藏點”或“感興趣區域”（ROI）；

一鍵切換至指定觀察位置；

特別適用于大面積樣品、多區域對比觀察等場景。

5. 利用特征結構定位

如果樣品表面有天然形貌（如晶體邊界、顆粒分布、劃痕等）：

選擇靠近目標區域的獨特形貌作為參照；

每次觀察前從該結構出發，用固定路徑移動；

適用于生物樣品、材料組織等自然結構明顯的樣品。

6. 固定樣品安裝方式

保證每次安裝樣品時方向一致（如膠帶對齊、標記箭頭等）；

若使用樣品架（stub），盡量使用帶有方向標記的專用樣品座；

這樣能減少旋轉誤差，提升重復定位的效率。