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    掃描電鏡如何避免因樣品偏移造成圖像漂移?

    日期:2025-06-12

    在掃描電鏡(SEM)觀察中,如果圖像出現漂移、跳動或位置不穩定,可能是由于樣品偏移或不穩定造成的。以下是問題原因分析和避免建議:

    一、為什么樣品偏移會導致圖像漂移?

    掃描電鏡的成像是通過電子束在樣品表面逐點掃描得到的。若樣品在成像過程中發生輕微移動或震動,會直接導致圖像模糊、重影、條紋或漂移。常見原因包括:

    樣品未固定牢靠;

    樣品臺未鎖緊;

    真空泵運行或室內振動引起微小機械擾動;

    樣品因電子束照射發生熱膨脹或形變;

    樣品裝夾不平整或傾斜。

    二、如何避免樣品偏移導致圖像漂移?

    1. 固定樣品牢固

    使用導電碳膠、碳帶或銀膠將樣品牢牢粘貼在樣品臺上;

    盡量將樣品貼平、貼緊,避免在傾斜角度大或邊緣懸空處裝夾;

    粘貼時注意樣品重心,避免不平衡造成偏轉。

    2. 檢查并鎖緊樣品臺

    安裝樣品后,確保樣品臺各軸完全鎖定,特別是傾斜和旋轉角;

    有些 SEM 樣品臺有微動或步進結構,確保沒有“游隙”。

    3. 降低室內振動干擾

    避免在樣品室附近走動或敲擊;

    確保 SEM 安裝在減震平臺或穩定地面上;

    避免靠近空調風口或電機設備。

    4. 等樣品“穩定”后再成像

    樣品剛進入高真空時會因氣壓、溫度變化略有應力;

    等待 5–15 分鐘再進行高倍率成像,避免初期不穩定。

    5. 避免樣品因電子束照射變形

    對熱敏感樣品(如高分子、生物、納米膜等)應使用低電壓、低束流;

    減少單點長時間曝光,避免熱積累。

    6. 使用低倍率定位后再逐步放大

    先在低倍率下完成定位、對焦、亮度調整;

    再逐步放大觀察,避免在高倍率下因樣品微動而失去目標區域。

    7. 避免充電和電荷積累

    非導電樣品帶電也會導致圖像漂移(電荷引力擾動電子束);

    可通過噴金、低壓模式或導電膠接地等方法處理。


    TAG:

    作者:澤攸科技


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