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掃描電鏡（SEM）圖像突然變暗可能由多種因素引起，需從電子束系統(tǒng)、信號(hào)檢測(cè)、樣品狀態(tài)及環(huán)境條件等方面逐步排查。以下是可能原因及解決方案：

1. 電子束相關(guān)原因

(1) 電子槍發(fā)射電流下降

原因：

鎢燈絲老化或斷裂。

場(chǎng)發(fā)射槍（FEG）陰極污染或發(fā)射不穩(wěn)定。

解決：

檢查燈絲電流（Filament Current）是否異常升高（如超過(guò)飽和值）。

更換燈絲或?qū)EG執(zhí)行Flash操作（加熱除污）。

(2) 電子束對(duì)中/光闌偏移

現(xiàn)象：圖像變暗且伴隨分辨率下降。

解決：

重新對(duì)中電子束（Beam Alignment），調(diào)整聚光鏡（Condenser Lens）和光闌（Aperture）位置。

清潔或更換污染的光闌（尤其是長(zhǎng)時(shí)間使用后）。

2. 信號(hào)檢測(cè)問(wèn)題

(1) 探測(cè)器故障或污染

二次電子（SE）或背散射電子（BSE）探測(cè)器異常：

檢查探測(cè)器高壓是否正常（如ET探測(cè)器需確認(rèn)偏壓是否施加）。

清潔探測(cè)器表面（如閃爍體探測(cè)器污染會(huì)導(dǎo)致信號(hào)衰減）。

解決：

切換至其他探測(cè)器（如從SE切換到BSE）驗(yàn)證是否仍變暗。

聯(lián)系工程師校準(zhǔn)或更換探測(cè)器。

(2) 信號(hào)放大器增益降低

原因：電路故障或設(shè)置錯(cuò)誤。

解決：

檢查PMT（光電倍增管）或前置放大器設(shè)置，嘗試提高增益（Contrast/Brightness）。

重啟信號(hào)處理模塊。

3. 樣品問(wèn)題

(1) 樣品荷電效應(yīng)（Charging）

現(xiàn)象：圖像變暗、閃爍或扭曲，常見(jiàn)于非導(dǎo)電樣品。

解決：

降低加速電壓（如從15kV降至5kV）。

噴鍍金/碳涂層（5~10nm）。

使用低真空模式（如有）。

(2) 樣品位置或傾角變化

原因：樣品臺(tái)移動(dòng)或漂移，導(dǎo)致信號(hào)接收角度偏離探測(cè)器。

解決：

重新定位樣品，確保工作距離（WD）與探測(cè)器匹配。

檢查樣品臺(tái)穩(wěn)定性，避免機(jī)械漂移。

4. 環(huán)境與儀器狀態(tài)

(1) 真空度下降

現(xiàn)象：圖像變暗且可能有閃爍噪聲。

原因：鏡筒或樣品室真空泄漏（如密封圈老化、樣品未充分干燥）。

解決：

檢查真空計(jì)讀數(shù)，若真空度＞10?? Pa需排查漏氣點(diǎn)。

重新抽真空或更換密封部件。

(2) 外部干擾

電磁干擾：附近設(shè)備（如電機(jī)、射頻源）導(dǎo)致電子束偏轉(zhuǎn)。

振動(dòng)：建筑振動(dòng)或空調(diào)氣流影響。

解決：關(guān)閉干擾源，啟用設(shè)備防振模式。