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在掃描電子顯微鏡（SEM）中進(jìn)行圖像的定量測(cè)量，關(guān)鍵在于圖像已正確標(biāo)定、設(shè)備設(shè)置精確，以及測(cè)量方法規(guī)范。下面是完整的步驟和注意事項(xiàng)：

一、前提條件：圖像須已校準(zhǔn)倍率和比例尺

定量測(cè)量前，確保：

SEM 已校準(zhǔn)倍率（Magnification Calibration）；

圖像上 比例尺（Scale Bar）是準(zhǔn)確的；

不同加速電壓、工作距離、放大倍率下的畸變已最小化。

二、基本測(cè)量項(xiàng)目

SEM 圖像中常見的定量測(cè)量包括：

線性尺寸：如粒徑、厚度、孔徑、縫隙等；

面積與輪廓：顆粒覆蓋率、孔洞面積；

角度：晶體邊界夾角、微結(jié)構(gòu)方向；

形貌統(tǒng)計(jì)：粒徑分布、密度等。

三、常見測(cè)量方法

1. 使用 SEM 自帶的軟件

多數(shù)掃描電鏡軟件（如 ZEISS SmartSEM、Hitachi SEM Viewer、TESCAN Essence 等）提供內(nèi)建測(cè)量工具：

直接在圖像上點(diǎn)擊兩點(diǎn)，系統(tǒng)自動(dòng)按比例尺計(jì)算距離；

可設(shè)置多種單位（如 nm、μm）；

支持導(dǎo)出測(cè)量結(jié)果和圖像截圖。

注意：確保使用的是已保存 原始像素大小和元數(shù)據(jù) 的圖像。

2. 使用圖像分析軟件

導(dǎo)出圖像后可在外部圖像處理軟件中進(jìn)行分析：

常用軟件：

ImageJ / FIJI：免費(fèi)、開源，功能強(qiáng)大；

Photoshop / GIMP：適合簡(jiǎn)單標(biāo)注，但不適合高精度測(cè)量；

Igor Pro / Origin：適合科研用戶，處理統(tǒng)計(jì)和圖形表達(dá)。

ImageJ 中的測(cè)量流程：

打開圖像；

使用已知比例尺標(biāo)定（Analyze > Set Scale）；

選擇測(cè)量工具（直線、面積、角度）；

測(cè)量并記錄值（Analyze > Measure）；

可批量統(tǒng)計(jì)多個(gè)顆粒、導(dǎo)出結(jié)果。

四、避免誤差的關(guān)鍵點(diǎn)

樣品須處于聚焦?fàn)顟B(tài)，否則圖像拉伸失真；

使用 適當(dāng)?shù)墓ぷ骶嚯x（WD）和加速電壓，避免邊緣效應(yīng)；

圖像須未縮放（即以原始分辨率保存）；

盡量避免在邊緣區(qū)域測(cè)量（因畸變概率更大）；

對(duì)非平面樣品，需考慮傾斜角和景深影響；

進(jìn)行定量前建議使用已知尺寸標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行一次驗(yàn)證。