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在掃描電鏡（SEM）成像過程中，調(diào)整焦距（Focus）是獲得清晰圖像的關(guān)鍵步驟。焦距的實(shí)質(zhì)，是調(diào)整電子束與樣品表面交匯的焦點(diǎn)位置，以獲得銳利的圖像細(xì)節(jié)。以下是詳細(xì)的調(diào)整方法與注意事項(xiàng)：

一、焦距調(diào)整的基本方式

使用“Focus”旋鈕或軟件按鈕

絕大多數(shù)掃描電鏡配有：

粗調(diào)（Coarse Focus）

細(xì)調(diào)（Fine Focus）

建議先用粗調(diào)接近清晰，再用細(xì)調(diào)精細(xì)調(diào)整。

通過調(diào)整工作距離（Working Distance, WD）影響焦點(diǎn)

焦距和工作距離密切相關(guān)。較短的工作距離有助于高分辨率，但景深較淺；較長(zhǎng)的工作距離景深更大，但分辨率略低。

在部分電鏡中，焦距調(diào)節(jié)會(huì)自動(dòng)調(diào)整工作距離。

二、操作流程

選用適當(dāng)加速電壓

一般建議中等電壓（如 5–15 kV）獲得初始圖像，更容易找到焦點(diǎn)。

將樣品移動(dòng)到目標(biāo)區(qū)域

先用低倍率（如 100x、500x）找到目標(biāo)區(qū)域。

切換到中倍率或高倍率

焦點(diǎn)在高倍率下更容易判斷清晰與否。建議在 1000x–5000x 做精細(xì)調(diào)焦。

調(diào)節(jié)聚焦（Focus）旋鈕

緩慢調(diào)節(jié)，使圖像邊緣、紋理等清晰為準(zhǔn)。

若圖像模糊無(wú)改善，檢查是否高度未調(diào)平或樣品未貼平。

可使用動(dòng)態(tài)聚焦模式（if available）

有些 SEM 提供自動(dòng)聚焦（Auto Focus）功能，也可以輔助快速找到焦點(diǎn)，但精調(diào)仍需手動(dòng)完成。

三、調(diào)焦時(shí)的注意事項(xiàng)

避免圖像漂移或抖動(dòng)干擾判斷：建議在電鏡穩(wěn)定后操作；

對(duì)高放大倍率圖像調(diào)焦困難時(shí)：

可先在較低倍率聚焦后再逐級(jí)放大，分步調(diào)焦；

樣品表面不平整時(shí)：建議以主要觀察區(qū)域?yàn)榻裹c(diǎn)，或使用“傾斜樣品臺(tái)”優(yōu)化觀察角度；

非導(dǎo)體樣品調(diào)焦困難：可能因充電效應(yīng)模糊圖像，應(yīng)考慮鍍膜或降低電壓。