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判斷掃描電鏡（SEM）下樣品是否被污染，通常可以通過以下幾個方面進行觀察和分析：

一、圖像特征判斷

圖像中出現非結構性的顆粒或斑塊

特點：這些雜質通常分布不規(guī)律，形狀和尺寸不一致，與樣品本身的微觀結構無關。

判斷方法：在多個位置或不同樣品上反復出現類似雜質，尤其是呈現“漂浮”或“覆蓋”狀態(tài)時，可能是污染物。

圖像表面出現油污樣模糊或亮斑

特點：圖像發(fā)虛、區(qū)域亮度異常、失去細節(jié)，可能是由于油類污染或有機物沉積引起電子散射不均。

出現“柱狀條紋”或放射狀污染紋理

原因：電子束擊穿污染物后，污染沿束線沉積，形成明顯的放射狀或波紋狀結構。

二、操作過程中表現

圖像焦點漂移、對焦困難

污染層可能使樣品表面電子特性發(fā)生變化，導致聚焦不穩(wěn)定，尤其在連續(xù)照射后成像效果變差。

圖像變暗或亮度變化異常

隨著觀察時間增加，圖像亮度降低或圖像局部變亮，表明可能存在“電子束誘導沉積”——電子束使殘留氣體沉積在樣品表面。

三、EDS 能譜分析輔助判斷

成分異常

對污染區(qū)域和正常區(qū)域進行 EDS 分析，如果污染區(qū)域含有不屬于樣品本身的元素（如 C、O、Si、Na、Cl 等常見污染元素），可能是樣品表面被空氣中雜質、有機物或殘余清洗劑污染。

四、污染來源常見排查點

樣品制備不潔凈：如未清洗干凈、溶劑殘留、脫水不徹底。

導電膠或碳帶污染：尤其在使用過多或溢出的情況下。

真空腔體不潔：長時間未清理、樣品反復放入帶入污染。

操作過程引入：如樣品暴露在空氣中時間過長，或使用非潔凈工具接觸樣品。

五、確認污染的建議方法

對比新樣與舊樣、不同區(qū)域圖像：如果新樣圖像清晰，而舊樣模糊或有異物，可能舊樣已被污染。

同一位置重復觀察：電子束照射時間增加后出現污染征象，說明污染可能與束流誘導沉積相關。

查看對照樣品：使用空白樣或標準樣驗證設備是否帶污染源。