掃描電鏡電源不穩時對成像會有什么影響？
日期：2025-04-27
掃描電鏡（SEM）使用時如果電源不穩定，會對成像產生一系列直接且顯著的負面影響，主要體現在以下幾個方面：
1. 圖像漂移和抖動
電源電壓波動，會導致電子束的位置發生微小但連續的變化，表現為：
圖像整體出現緩慢漂移。
圖像細節出現晃動、抖動現象，尤其在高放大倍率下更明顯。
難以進行長時間曝光和高分辨率成像。
2. 失焦和分辨率下降
電源不穩使電子槍發射條件變化（比如發射電流或加速電壓波動），造成：
焦點偏移，導致圖像模糊、分辨率明顯降低。
特別是掃描速度慢時，圖像模糊感加重，細節變差。
3. 亮度和對比度不穩定
加速電壓或探測器供電波動，會引起：
圖像亮度忽明忽暗。
對比度變化，局部區域發白或發黑，影響觀察質量。
難以得到統一穩定的圖像輸出。
4. 出現條紋、噪點和偽影
電源噪聲（特別是交流紋波）疊加在電子束或信號鏈上，造成：
圖像上出現周期性條紋或噪點。
形成鬼影、重復影像等偽影。
在低電壓、大視場拍攝時更容易暴露這些問題。
5. 設備保護機制觸發
如果電源波動過大或瞬間掉電，SEM本身的保護機制可能動作，導致：
電子槍自動關斷以保護發射源（特別是場發射槍FEG系統）。
樣品臺運動中斷或系統自動停機。
部分老舊機型甚至可能燒毀電源模塊或高壓部分。
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作者：澤攸科技
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