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在掃描電鏡（SEM）中實(shí)現(xiàn)局部放大，即放大樣品上某一特定區(qū)域，通常用于觀察細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)或缺陷特征，可以通過(guò)以下幾種方式實(shí)現(xiàn)：

方法一：調(diào)整放大倍率（Magnification）

直接方式：

使用 SEM 控制界面中的 “放大倍率”滑塊或輸入框，逐步放大圖像。

鼠標(biāo)點(diǎn)擊或拖動(dòng)至目標(biāo)區(qū)域后再提升倍率，可實(shí)現(xiàn)該區(qū)域的放大觀察。

放大倍率越高，視野越小，需精準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)。

方法二：圖像導(dǎo)航功能（Image Navigation）

適用于有圖像縮略圖的系統(tǒng)：

首先在低倍圖像下獲得全貌。

使用導(dǎo)航窗口點(diǎn)擊目標(biāo)區(qū)域或框選區(qū)域，即可快速切換視野。

再手動(dòng)調(diào)高倍率，觀察該區(qū)域細(xì)節(jié)。

方法三：電子束移動(dòng)（Stage 不動(dòng)）

保持樣品平臺(tái)位置不變，僅移動(dòng)電子束掃描區(qū)域：

使用“Beam Shift”或“Scan Shift”功能微調(diào)掃描窗口。

適合對(duì)微小區(qū)域進(jìn)行快速放大對(duì)準(zhǔn)，避免平臺(tái)移動(dòng)帶來(lái)的抖動(dòng)或漂移。

方法四：平臺(tái)精細(xì)移動(dòng)實(shí)現(xiàn)區(qū)域選擇

如果目標(biāo)區(qū)域較遠(yuǎn)或需精確定位：

先用低倍成像觀察樣品整體。

利用樣品臺(tái)的 X、Y、Z 或傾斜旋轉(zhuǎn)功能，精確移動(dòng)至目標(biāo)區(qū)域。

然后再逐步提高倍率，查看局部。

方法五：區(qū)域放大輔助功能（部分 SEM 軟件支持）

在圖像中直接框選目標(biāo)區(qū)域。

系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)放大該選區(qū)并居中顯示。

適用于快速局部觀察和圖像采集。