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在掃描電子顯微鏡（SEM）成像過程中，樣品可能會受到污染，導致圖像質量下降或影響分析結果。以下是一些防止污染的有效方法：

1. 預處理樣品，減少污染源

清潔樣品：使用超聲波清洗、去離子水沖洗或等離子清洗去除表面污染物。 

干燥樣品：避免水分殘留，可使用烘干或真空干燥。 

避免手接觸：用鑷子或手套處理樣品，防止皮脂污染。 

2. 控制真空腔內污染

定期清潔 SEM 樣品腔：使用等離子清洗或低能電子束清洗去除沉積污染。 

避免使用高揮發性膠水或銀漆：可選擇低污染的導電膠或機械夾持方式固定樣品。 

減少樣品倉打開次數：頻繁暴露空氣可能帶入水汽和有機污染物。 

3. 使用低束流和低加速電壓

電子束與樣品作用可能引發碳沉積污染，適當降低束流和電壓可減少污染風險。 

4. 選擇適當的樣品涂層

絕緣樣品需噴金、碳或鉑，提高導電性并減少電子束誘導污染。 

5. 采用低污染 SEM 運行模式

低溫 SEM（冷臺）：對生物或揮發性樣品可減少污染和損傷。 

環境 SEM（ESEM）：適用于含水或易揮發樣品，可減少污染沉積。 

6. 維護 SEM 儀器

保持高真空狀態，防止有機分子在樣品上沉積。 

定期更換真空泵油，防止油蒸氣污染。

以上就是澤攸科技小編分享的如何防止樣品在SEM成像過程中受到污染。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢