掃描電鏡樣品可以重復使用嗎？
日期：2025-03-13
掃描電鏡（SEM）樣品是否可以重復使用，取決于以下幾個因素：
1. 樣品類型
金屬和無機材料（如合金、陶瓷、半導體）：通?？梢灾貜褪褂?，因其在電子束照射下較為穩定，結構不會輕易損壞。
聚合物、生物樣品和有機材料：這些材料在電子束照射下可能發生降解、碳化或電荷積累，影響其重復使用性。
2. 電子束輻照損傷
高劑量的電子束可能導致樣品發生形貌變化或表面損傷，如分解、充電效應或形變，影響后續使用。
低劑量成像和短曝光時間可以減少損傷，提高樣品的可重復使用性。
3. 導電涂層處理
絕緣樣品（如陶瓷、塑料）通常需要金屬噴涂（如金、鉑、碳）。
如果樣品已經涂覆金屬層，則需要考慮是否可以去除或重新涂覆，以適應不同的觀察需求。
4. 樣品污染
樣品在 SEM 觀察過程中可能被碳污染（電子束誘導沉積），影響后續成像。
通過等離子清洗或低能電子束清理可以減少污染，使樣品可重復使用。
5. 樣品固定方式
如果樣品是直接粘附在樣品臺上（如雙面碳膠帶、銀漆），取下時可能會損壞樣品，影響重復使用。
采用可拆卸的夾具或無損固定方式（如機械夾持）可以提高樣品的重復使用性。
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作者：澤攸科技
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