判斷掃描電鏡 (SEM) 的電子槍 (Electron Gun) 是否需要更換，通?？梢酝ㄟ^以下幾個方面進行評估：

1. 發射電流衰減 (Emission Current Decay)

表現:

發射電流逐漸減小，即使增加加速電壓也無法恢復到正常水平。

通常在 SEM 的狀態界面上可以看到發射電流值（如 μA 或 nA 級）。

原因:

鎢絲或六硼化鑭 (LaB6) 電子槍的燈絲消耗或污染導致電子發射效率降低。

場發射電子槍 (FEG) 中發射尖端的污染或損傷。

判斷標準:

鎢絲電子槍: 當發射電流低于初始值的 50% 時，通常需要考慮更換。

LaB6 電子槍: 當電流衰減明顯且清洗無效時考慮更換。

場發射電子槍: 如果在正常工作電壓下發射電流低于規格建議的最小值 (如 10 μA 以下)，通常需要更換。

2. 分辨率下降與成像質量變差

表現:

圖像出現模糊、噪聲增加、對比度下降等問題。

難以獲得高倍率或高分辨率圖像。

原因:

鎢絲電子槍: 燈絲變細或不均勻導致電子束發散。

LaB6 電子槍: 燈絲尖端氧化或污染。

場發射電子槍: 發射尖端污染或真空度下降導致電子束發散。

判斷標準:

經校準與清潔后仍無法恢復圖像質量，考慮更換電子槍。

3. 啟動時間過長或無法啟動

表現:

加熱時間明顯延長，電子槍難以穩定。

場發射電子槍: 預熱后仍無法建立正常發射電流。

原因:

燈絲老化導致加熱效率低。

污染物覆蓋發射尖端，影響電子發射。

判斷標準:

如果預熱時間超過通常的 2 倍以上，或者多次啟動失敗，通?？紤]更換。

4. 電壓漂移與不穩定

表現:

加速電壓不穩定，導致電子束位置漂移或成像不穩定。

發射電流有明顯的波動或斷續現象。

原因:

鎢絲: 燈絲斷裂或接觸不良。

LaB6: 燈絲與安裝座接觸氧化。

FEG: 發射尖端表面狀態劣化。

判斷標準:

經檢查后確認非電源或控制電路問題，通常是電子槍需要更換的信號。

5. 燈絲壽命與使用時間

參考壽命:

鎢絲電子槍: 通常壽命為 100-200 小時（根據使用條件）。

LaB6 電子槍: 壽命可達 1000-1500 小時。

場發射電子槍 (冷場發射): 理論壽命可達 5000-10000 小時，但強烈依賴真空度和使用頻率。

判斷標準:

達到或接近標稱壽命時，且表現出上述問題之一，考慮更換。

6. 觀察燈絲形貌 (僅限鎢絲與 LaB6)

方法:

通過 SEM 的維護功能，使用低倍率成像直接觀察燈絲狀態。

主要查看：變細、斷裂或嚴重氧化的部分。

燈絲是否呈現不規則彎曲或偏移。

判斷標準:

若燈絲明顯變細或表面粗糙不均，通常需要更換。

以上就是澤攸科技小編分享的如何判斷掃描電鏡的電子槍是否需要更換。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢