在掃描電鏡（SEM）中，掃描模式 是決定如何對樣品表面進行電子束掃描的設置。不同的掃描模式適用于不同的應用需求，比如成像、分析或特定表面特征的觀察。以下是一些常見的掃描模式及其設置方法：

常見的掃描模式：

標準掃描模式（Standard Scanning Mode）

描述： 這是常見的掃描模式，電子束按一定順序掃描樣品表面，并通過不同的探測器收集信號生成圖像。

應用： 適用于常規成像和觀測。

設置方法：掃描方式： 設置掃描線的數目（如 512×512 或 1024×1024），調整掃描速度（例如慢速掃描用于高分辨率成像，快速掃描用于快速成像）。

電子束的掃描方式： 選擇 點掃描 或 線掃描，點掃描用于高分辨率，而線掃描適用于快速觀察。

分段掃描模式（Frame Scan Mode）

描述： 通過在樣品上逐幀掃描，適用于需要更高對比度和細節的圖像。

應用： 用于生成較為細致的圖像，適用于較小區域的高分辨率成像。

設置方法：幀數： 設置每幀掃描的時間、幀數，優化圖像的信噪比。

點間距和掃描速度： 調整點間距和掃描速度以平衡圖像分辨率與處理時間。

長時間曝光模式（Long Exposure Mode）

描述： 通過較長的曝光時間獲得更清晰、對比度更高的圖像。

應用： 適用于低對比度樣品或需要細節的圖像。

設置方法：曝光時間： 設置更長的曝光時間，適用于低對比度或高分辨率成像。

掃描速率： 通常會選擇較慢的掃描速率以增強信號。

隨機掃描模式（Random Scan Mode）

描述： 電子束不按照規則的路徑掃描樣品，而是以隨機順序移動。這種模式常用于模擬或分析非常復雜的樣品。

應用： 適用于一些特殊的樣品，如大樣品或需要隨機分布電子束的實驗。

設置方法：電子束的路徑設定： 選擇隨機掃描方式，通常可以調節掃描時的電子束加速電壓。

高速掃描模式（High-Speed Scan Mode）

描述： 提高掃描速度，適合大面積的快速觀察。

應用： 快速獲取大范圍的圖像，適用于需要快速定位感興趣區域的情況。

設置方法：掃描速率： 設置為較高的掃描速度（例如：1-10 ms/點），以縮短成像時間。

分辨率設置： 在提高速度的同時，合理降低分辨率，以確保圖像質量。

掃描模式的設置步驟：

選擇掃描模式：

在 SEM 的控制面板中，找到 “掃描模式” 或 “掃描設置”（通常在成像或圖像獲取模塊中）。

根據需要選擇合適的模式（如標準掃描、框架掃描等）。

調整掃描區域：

設置要掃描的區域大小。通常，掃描區域的設置包括 樣品表面區域的尺寸，并且可以通過 電子束探頭 的調整，選擇區域的大小。

調整掃描分辨率：

調整 掃描分辨率（如 512×512、1024×1024），這將影響圖像的清晰度和采集的時間。

高分辨率會導致掃描時間增加，但提高圖像質量。

設置掃描速度：

設置 掃描速率，即掃描一個點所需的時間。選擇較慢的掃描速度通常能獲得更高的圖像質量，但掃描時間會增加。

調節電子束參數：

根據選擇的掃描模式，調整 加速電壓、束流強度 和 探測器類型。不同的設置會影響樣品表面電子與探測器的交互，從而影響圖像質量。

觀察圖像反饋：

在設置完成后，實時查看圖像，進行必要的調整。使用 聚焦控制 和 對比度調節，確保圖像清晰無失真。

以上就是澤攸科技小編分享的如何設置掃描電鏡的掃描模式。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢15756003283(微信同號)。