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在掃描電鏡（SEM）中，像差會(huì)導(dǎo)致圖像失真、模糊或細(xì)節(jié)丟失，從而影響成像質(zhì)量。判斷像差問(wèn)題的方法包括觀察圖像特征、檢查顯微鏡設(shè)置以及分析不同像差類(lèi)型的特定表現(xiàn)。以下是常見(jiàn)的像差問(wèn)題及其判斷方法：

1. 像差的類(lèi)型及表現(xiàn)

球差（Spherical Aberration）

表現(xiàn)：圖像中心清晰，但邊緣區(qū)域模糊。

圖像對(duì)比度降低。

原因：電子束經(jīng)過(guò)透鏡時(shí)不同距離的電子聚焦點(diǎn)不一致。

判斷方法：調(diào)整電子束的光圈大小或減小束斑尺寸，觀察邊緣模糊是否改善。

使用高分辨率樣品（如納米線(xiàn)或納米顆粒），注意邊緣清晰度的變化。

色差（Chromatic Aberration）

表現(xiàn)：圖像出現(xiàn)色彩偏移（多見(jiàn)于透射電鏡）。

SEM 中主要表現(xiàn)為不同能量的電子聚焦點(diǎn)不同，導(dǎo)致圖像模糊。

原因：電子能量分布寬或加速電壓不穩(wěn)定。

判斷方法：檢查加速電壓是否穩(wěn)定。

使用高質(zhì)量樣品，并降低電子束能量的離散性。

彗形像差（Coma Aberration）

表現(xiàn)：圖像中會(huì)有類(lèi)似彗星尾巴的拉伸或拖尾現(xiàn)象。

多發(fā)生在視野中心外。

原因：電子束未完全對(duì)準(zhǔn)或樣品臺(tái)傾斜。

判斷方法：將視野從中心移動(dòng)到邊緣區(qū)域，觀察拖尾現(xiàn)象是否增強(qiáng)。

調(diào)整透鏡校準(zhǔn)和電子束對(duì)準(zhǔn)。

像散（Astigmatism）

表現(xiàn)：圖像在某一方向模糊，另一個(gè)方向清晰。

圓形物體顯示為橢圓形，且圖像在放大倍率增加時(shí)更為明顯。

原因：透鏡磁場(chǎng)或電場(chǎng)不均勻，或由于物鏡污染。

判斷方法：增加放大倍率，觀察是否存在方向性模糊。

調(diào)節(jié)像散校正器（Stigmator），觀察模糊方向是否改善。

畸變（Distortion）

表現(xiàn)：圖像幾何形狀發(fā)生變化，例如矩形被拉伸為梯形。

原因：電子束掃描系統(tǒng)不穩(wěn)定或樣品未水平放置。

判斷方法：使用已知尺寸或形狀的樣品（如標(biāo)定樣品），觀察圖像是否變形。

檢查掃描線(xiàn)是否一致。

2. 判斷像差問(wèn)題的步驟

(1) 使用標(biāo)準(zhǔn)樣品：

標(biāo)準(zhǔn)樣品（如帶有規(guī)則網(wǎng)格的樣品）可以幫助檢測(cè)圖像清晰度、形狀和分辨率。

若觀察到網(wǎng)格變形或模糊，可能是像差導(dǎo)致。

(2) 調(diào)整放大倍率：

在低倍率下像差不明顯，但在高倍率下會(huì)顯著放大。

逐步提高放大倍率，觀察圖像模糊或變形程度。

(3) 檢查圖像的均勻性：

如果圖像某些區(qū)域清晰而其他區(qū)域模糊，可能是由于球差或像散。

將樣品移動(dòng)至不同位置，觀察清晰度變化。

(4) 調(diào)節(jié)顯微鏡參數(shù)：

光圈大小： 增大光圈可能減少某些像差，但會(huì)降低分辨率。

加速電壓： 降低電壓可能改善色差，但可能引入球差。

工作距離： 調(diào)節(jié)工作距離可以?xún)?yōu)化聚焦點(diǎn)，改善圖像質(zhì)量。

(5) 校正像差：

使用像差校正裝置（如像散校正器或物鏡透鏡）。

通過(guò) SEM 的內(nèi)置校準(zhǔn)功能對(duì)圖像進(jìn)行優(yōu)化。

(6) 檢查樣品設(shè)置：

樣品傾斜或不平整可能導(dǎo)致畸變或像散。

確保樣品表面清潔，并正確安裝。

以上就是澤攸科技小編分享的如何判斷掃描電鏡中的像差問(wèn)題。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢(xún)