掃描電鏡的電子束對樣品有損傷嗎？
日期：2025-02-06
掃描電鏡（SEM）的電子束可能對樣品造成損傷，具體影響如下：
熱損傷
電子束的能量會使樣品局部升溫，可能導致熱敏感材料熔化或分解。
電荷積累
非導電樣品可能積累電荷，產生靜電效應，影響成像質量，甚至損壞樣品。
輻射損傷
高能電子束可能破壞化學鍵，導致聚合物等材料的結構變化或分解。
質量損失
電子束轟擊可能使樣品表面原子或分子脫離，造成質量損失，尤其是對有機或生物樣品。
結構變化
電子束可能導致晶體結構改變或相變，影響材料性質。
減輕措施
降低加速電壓：減少電子束能量。
減小束流：降低束流密度。
使用冷卻裝置：減少熱損傷。
樣品涂層：對非導電樣品進行導電涂層處理。
電子束可能對樣品造成熱損傷、電荷積累、輻射損傷、質量損失和結構變化，但可通過調整參數和采取防護措施減輕這些影響。
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作者：澤攸科技