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在掃描電子顯微鏡（SEM）中，樣品表面的電荷堆積會導致圖像失真、亮度變化或無法成像。這種現象通常發生在不導電或弱導電的樣品上，因為電子束的轟擊會使樣品表面積累負電荷。以下是減少電荷堆積的常用方法：

1. 改善樣品導電性

（1）涂覆導電層

原理：在樣品表面涂覆一層導電材料（如金、鉑、碳），形成導電路徑，將多余的電荷引導到地。

方法：使用濺射鍍膜儀或蒸鍍儀涂覆金屬層。

使用碳涂層儀進行碳層涂覆。

適用場景：適合需要高分辨率觀察的生物樣品、陶瓷、玻璃等絕緣材料。

（2）使用導電膠或導電膠帶

原理：通過導電膠（如銀漿）或導電膠帶連接樣品與樣品臺，提供電荷泄放通路。

適用場景：適用于大尺寸或不規則形狀樣品。

（3）調整樣品臺的接地

方法：確保樣品與樣品臺的電接觸良好，并檢查樣品臺是否正確接地。

2. 調整顯微鏡的工作參數

（1）降低加速電壓

原理：降低電子束的能量可以減少電荷注入，從而減輕電荷堆積。

方法：將加速電壓調整到較低范圍（如1-5 kV）。

注意事項：加速電壓過低可能影響圖像分辨率，需要權衡。

（2）減少電子束電流

原理：降低電子束電流減少電子注入量，從而減少電荷積累。

方法：調整電子束的光闌孔徑以減少束流強度。

（3）增大樣品與電子束的工作距離

原理：增大工作距離可以減弱電子束對樣品表面的作用，從而減少電荷堆積。

方法：適當調整工作距離（WD）參數，但可能影響圖像分辨率。

3. 改變環境條件

（1）使用低真空模式

原理：低真空模式下，腔體中殘余氣體分子與樣品表面的電荷發生碰撞，中和部分電荷。

方法：切換SEM到低真空或環境模式。

適用場景：不適合涂覆導電層的非導電樣品。

（2）引入環境氣體

原理：通過引入惰性氣體（如氮氣），中和樣品表面的多余電荷。

注意事項：確保氣體不會影響樣品或SEM性能。

4. 樣品制備優化

（1）增加導電填料

方法：在樣品制備過程中添加導電填料（如碳粉、金屬粉末）以改善樣品導電性。

適用場景：適用于粉末、混合物樣品。

（2）薄樣處理

原理：薄樣化可減少電子堆積區域，從而減輕電荷積累。

方法：使用切片機或拋光設備對樣品進行薄片處理。

5. 數據后處理

在某些無法完全消除電荷堆積的情況下，可以通過圖像處理軟件減少電荷堆積導致的偽影影響。例如：

使用圖像平均或去噪處理增強細節。

手動調整圖像的亮度和對比度。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡如何減少樣品表面的電荷堆積。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢