如何在掃描電鏡中實現多點自動掃描？
日期：2024-10-24
在掃描電子顯微鏡（SEM）中實現多點自動掃描通常涉及以下幾個步驟：
軟件設置：
確保您的SEM配備了支持自動掃描功能的軟件。許多現代SEM系統都有自動化控制軟件。
樣品準備：
將樣品固定在樣品臺上，并確保樣品的多個感興趣區域可以在掃描范圍內。
設置掃描點：
使用顯微鏡軟件選擇多個掃描點。您可以手動指定每個點的坐標，或者使用圖像處理工具自動識別感興趣區域。
參數配置：
為每個掃描點設置掃描參數，如加速電壓、束流強度、掃描速度、放大倍率等。
執行掃描：
啟動自動掃描功能，顯微鏡將按照設定的順序依次掃描每個點，并記錄數據。
數據分析：
完成掃描后，使用數據處理軟件分析獲取的圖像和數據。
結果整合：
將各個掃描點的結果整合到一個綜合圖像中，以便進行比較和分析。
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作者：澤攸科技