在掃描電鏡（SEM）中實現多種信號檢測，可以通過使用不同類型的探測器和調整相關設置來捕捉樣品的多維信息。以下是實現多種信號檢測的詳細步驟和方法：

常見信號類型及其探測器

二次電子（SE）：

探測器：二次電子探測器（SED）

用途：用于表面形貌和細節觀察，分辨率高。

背散射電子（BSE）：

探測器：背散射電子探測器（BSED）

用途：用于成分對比和原子序數對比，重元素信號更強。

X射線：

探測器：能量色散X射線探測器（EDS）

用途：用于元素分析和成分定量。

陰極熒光（CL）：

探測器：陰極熒光探測器

用途：用于分析樣品的光學特性和電子帶結構。

透射電子（TE）：

探測器：透射電子探測器（用于STEM模式）

用途：用于薄樣品的內部結構觀察。

設置與操作步驟

1. 準備工作

樣品制備：

準備合適的樣品，確保樣品大小適合SEM樣品臺。

如果需要多種信號檢測，確保樣品表面清潔，減少污染。

安裝樣品：

將樣品固定在樣品臺上，確保樣品穩定。

2. 設置SEM參數

選擇適當的加速電壓：

根據樣品類型和信號類型選擇適當的加速電壓。例如，較低的加速電壓（1-5 kV）適用于表面形貌觀察，高電壓（10-30 kV）適用于成分分析。

調整束流電流：

調整束流電流以獲得清晰的圖像，同時避免樣品損傷。

3. 激活并調整探測器

二次電子探測器（SED）

二次電子探測器（SED）：

啟動SED，調整工作距離和探測器位置以獲得高質量圖像。

通過調節信號增益和對比度，優化圖像質量。

背散射電子探測器（BSED）：

啟動BSED，調整探測器角度和工作距離。

調節信號強度以突出不同元素的對比。

能量色散X射線探測器（EDS）：

啟動EDS，選擇適當的探測參數（如探測區域和能量范圍）。

進行點分析、線掃描或面掃描，獲取樣品的元素成分信息。

陰極熒光探測器（CL）：

啟動CL探測器，調整激發電壓和探測器設置。

觀察并記錄樣品的熒光圖像。

透射電子探測器（STEM模式）：

啟動透射電子探測器，調整工作條件以適應STEM模式。

觀察樣品內部結構，獲取高分辨率圖像。

4. 數據采集與分析

實時圖像采集：

使用SEM的圖像采集功能，實時捕捉多種信號的圖像。

對于動態過程，可以使用視頻記錄功能。

數據分析：

使用SEM自帶的分析軟件或第三方軟件，對采集到的信號進行分析。

例如，對于EDS數據，可以進行定量分析和元素分布映射。

示例操作步驟

示例1：同時檢測SE和BSE信號

準備和安裝樣品：

將樣品固定在樣品臺上，并插入SEM腔體。

設置加速電壓和束流電流：

設置加速電壓為10 kV，調整束流電流以獲得清晰圖像。

啟動SED和BSED：

啟動二次電子探測器和背散射電子探測器。

調整探測器位置和工作距離。

優化圖像：

調節SED和BSED的信號增益和對比度，獲取高質量圖像。

圖像采集：

實時采集并保存SE和BSE圖像。

示例2：結合SE、BSE和EDS進行成分分析

準備和安裝樣品：

將樣品固定在樣品臺上，并插入SEM腔體。

設置加速電壓和束流電流：

設置加速電壓為20 kV，調整束流電流以獲得清晰圖像。

啟動SED、BSED和EDS：

啟動二次電子探測器、背散射電子探測器和能量色散X射線探測器。

調整探測器位置和工作距離。

采集SE和BSE圖像：

調節探測器設置，獲取高質量圖像。

實時采集并保存SE和BSE圖像。

進行EDS分析：

選擇感興趣的區域，啟動EDS進行點分析、線掃描或面掃描。

記錄并分析EDS光譜數據，獲取樣品的元素成分信息。

綜合分析：

將SE、BSE圖像和EDS數據結合，進行綜合分析，確定樣品的形貌和成分分布。

注意事項

樣品穩定性：確保樣品在整個檢測過程中保持穩定，避免因樣品移動影響結果。

信號干擾：在多信號檢測時，注意避免不同信號之間的干擾，確保各信號的獨立性和準確性。

數據備份：定期備份圖像和數據，防止數據丟失。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中實現多種信號檢測的介紹。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢