在使用掃描電子顯微鏡（SEM）時，樣品充電效應是一個常見問題，特別是在觀察非導電材料時。充電效應會導致圖像失真、對比度降低，甚至使觀察變得困難。以下是一些處理樣品充電效應的常見方法：

1. 涂層處理

對樣品表面進行導電涂層處理，可以有效減少充電效應。

材料：常用的涂層材料包括金、鉑、鈀、碳等。

方法：使用濺射儀或蒸鍍設備在樣品表面沉積一層薄的導電材料。通常，涂層厚度在幾納米到幾十納米之間。

2. 降低加速電壓

降低電子束的加速電壓可以減少充電效應，因為較低的能量會減少電子在樣品表面的積累。

方法：在SEM控制軟件中，將加速電壓設置為較低值，例如1-5 kV。

3. 使用環(huán)境模式（ESEM）

環(huán)境掃描電子顯微鏡（ESEM）允許在低真空或高壓環(huán)境下進行成像。

原理：在樣品腔中引入一定量的氣體（如水蒸氣或氮氣），氣體分子與電子束相互作用，幫助中和表面電荷。

優(yōu)勢：無需對樣品進行導電涂層處理，適用于觀察濕潤或敏感樣品。

4. 使用低電流束

降低電子束的電流可以減少樣品表面的電荷積累。

方法：在SEM控制軟件中，將束電流設置為較低值。

5. 使用導電膠或銀漿

在樣品和樣品臺之間使用導電膠或銀漿，確保樣品與樣品臺之間的良好導電接觸。

方法：將導電膠或銀漿涂在樣品底部或邊緣，然后將樣品固定在樣品臺上。

6. 施加負偏壓

在某些SEM中，可以對樣品臺施加負偏壓，幫助中和樣品表面的電荷。

原理：負偏壓會吸引二次電子和其他電荷載體，從而中和樣品表面的正電荷。

方法：在SEM控制軟件中設置負偏壓。

7. 樣品預處理

一些樣品可以通過預處理來減少充電效應。

烘烤：將樣品在低溫下烘烤一段時間，去除表面吸附的水分和氣體。

清洗：使用溶劑或其他方法清洗樣品表面，去除可能影響導電性的污染物。

8. 使用掃頻電子束

采用掃頻或波形掃描方式，均勻分布電子束，避免在單個區(qū)域積累過多電子。

方法：在SEM控制軟件中設置電子束的掃描模式。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡如何處理樣品充電效應的介紹。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢