如何通過掃描電鏡實(shí)現(xiàn)樣品的局部和全局成像？
日期：2023-07-27
通過掃描電子顯微鏡（SEM），可以實(shí)現(xiàn)樣品的局部和全局成像。這涉及到樣品的掃描方式和成像設(shè)置的調(diào)整。以下是實(shí)現(xiàn)樣品局部和全局成像的一些方法：
局部成像：
選取感興趣區(qū)域： 在SEM成像前，首先選擇感興趣的區(qū)域，也就是局部區(qū)域，這可能是一個(gè)特定的微觀結(jié)構(gòu)或區(qū)域。在高放大倍數(shù)下，通過觀察樣品，可以確定需要進(jìn)行局部成像的區(qū)域。
設(shè)置合適的掃描范圍： 在局部成像時(shí)，需要調(diào)整掃描范圍，使其僅覆蓋感興趣的局部區(qū)域。通常可以通過縮小掃描范圍或在圖像處理軟件中裁剪圖像來實(shí)現(xiàn)局部成像。
全局成像：
選擇適當(dāng)?shù)姆糯蟊稊?shù)： 全局成像需要獲得整個(gè)樣品的總體形貌。因此，在選擇放大倍數(shù)時(shí)，應(yīng)選擇一個(gè)較低的放大倍數(shù)，以便能夠看到整個(gè)樣品的范圍。
多區(qū)域掃描和圖像拼接： 如果樣品比較大，無法一次性在一個(gè)圖像中顯示，可以通過分割成多個(gè)局部區(qū)域，并進(jìn)行多次掃描，然后將這些局部圖像拼接在一起，形成全局圖像。這可以通過SEM系統(tǒng)自帶的圖像拼接功能或圖像處理軟件來實(shí)現(xiàn)。
全樣品掃描： 有些SEM系統(tǒng)支持全樣品掃描功能，可以在一個(gè)較低的放大倍數(shù)下，自動掃描整個(gè)樣品的表面，并生成全局圖像。
需要注意的是，在進(jìn)行局部和全局成像時(shí)，樣品的表面電荷效應(yīng)可能會對成像結(jié)果產(chǎn)生影響。適當(dāng)?shù)臉悠诽幚砗驼{(diào)整SEM參數(shù)可以幫助減輕電荷效應(yīng)的影響，并獲得更準(zhǔn)確的成像結(jié)果。
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作者：澤攸科技